氮化镓外延层的制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN98811437.2

申请日：

1998-10-15

公开(公告)号：

CN1279733A

公开(公告)日：

2001-01-10

发明(设计)人：

B·比尤蒙特 P·吉巴尔特 J－C·古劳姆 G·纳塔夫 M·维尔 S·哈佛兹

申请人：

申请人地址：

法国巴黎

IPC主分类号：

C30B2502

IPC分类号：

H01L3300 C30B2940

代理机构：

中国国际贸易促进委员会专利商标事务所

代理人：

王杰

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-11-09	专利权的终止	专利权有效期届满 IPC(主分类):C30B 25/02 申请日:19981015 授权公告日:20060802
2001-01-10	公开	公开
2001-01-17	实质审查请求的生效	实质审查请求的生效
2006-08-02	授权	授权
2003-07-30	专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移	专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移变更事项:申请人变更前权利人:国家科研中心变更后权利人:卢米洛格股份有限公司变更事项:地址变更前权利人:法国巴黎变更后权利人:法国新堡登记生效日:20030604

共 50 条

[1]

氮化镓外延层的制备方法及氮化镓外延层 [P].

尹甲运 ;

房玉龙 ;

王波 ;

郭艳敏 ;

张志荣 ;

李佳 ;

芦伟立 .

中国专利 :CN109119333B ,2019-01-01

[2]

氮化镓外延层 [P].

李克涛 ;

杜晓沨 ;

李宁 ;

张信 .

中国专利 :CN114447096A ,2022-05-06

[3]

一种氮化镓外延层的生长方法以及氮化镓外延层 [P].

王建峰 .

中国专利 :CN117832062A ,2024-04-05

[4]

一种氮化镓外延层的制备方法及氮化镓外延片结构 [P].

李利哲 ;

刘宗亮 .

中国专利 :CN113643962B ,2021-11-12

[5]

外延结构的缓冲层的制备方法、氮化镓外延层的制备方法 [P].

邢国兵 .

中国专利 :CN114743876A ,2022-07-12

[6]

半极性氮化镓外延层结构制造系统及方法 [P].

沈琨 ;

沈承刚 ;

沈振宇 .

中国专利 :CN114318543A ,2022-04-12

[7]

氮化镓外延层及其形成方法 [P].

徐琳 .

中国专利 :CN114121611A ,2022-03-01

[8]

氮化镓外延层及其形成方法 [P].

徐琳 .

中国专利 :CN114121611B ,2025-08-26

[9]

氮化镓或氮化铝镓层的制造方法 [P].

H·拉尔彻 .

中国专利 :CN101978470B ,2011-02-16

[10]

氮化镓同质外延方法 [P].

王瑞 ;

庄文荣 ;

孙明 ;

颜建峰 ;

敖辉 .

中国专利 :CN115692174A ,2023-02-03

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