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一种氮化镓外延层的生长方法以及氮化镓外延层
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202410013319.1
申请日：
2024-01-04
公开(公告)号：
CN117832062A
公开(公告)日：
2024-04-05
发明(设计)人：
王建峰
申请人：
苏州纳维科技有限公司
申请人地址：
215101 江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区20幢518室
IPC主分类号：
H01L21/02
IPC分类号：
代理机构：
苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257
代理人：
李艾
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
江苏省
苏州市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-04-23 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/02申请日:20240104 |
| 2024-04-05 | 公开 | 公开 |