共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
一种晶圆夹持装置
被引：0
申请号：
CN202220123101.8
申请日：
2022-01-18
公开(公告)号：
CN216698333U
公开(公告)日：
2022-06-07
发明(设计)人：
谷德鑫
申请人：
申请人地址：
110000 辽宁省沈阳市浑南区上深沟村863-9号D09号354室
IPC主分类号：
H01L21687
IPC分类号：
代理机构：
沈阳晨创科技专利代理有限责任公司 21001
代理人：
张晨
法律状态：
授权
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-06-07 | 授权 | 授权 |