一种晶圆夹持装置

被引：0

申请号：

CN202221846911.2

申请日：

2022-07-18

公开(公告)号：

CN217983307U

公开(公告)日：

2022-12-06

发明(设计)人：

樊敬闽

申请人：

申请人地址：

201500 上海市金山区金山工业区金流路138号1幢

IPC主分类号：

H01L21687

IPC分类号：

代理机构：

上海光华专利事务所(普通合伙) 31219

代理人：

余明伟

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-12-06	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆夹持装置 [P].

王子菲 .

中国专利 :CN207529917U ,2018-06-22

[2]

一种晶圆末端夹持装置 [P].

王紫林 ;

吴泓均 ;

黄钰玮 ;

游景浩 ;

林虹希 ;

郑瑞文 ;

蔡媛媛 ;

孔祥蓉 ;

蒋雪莹 ;

杜雨果 ;

杨思彤 ;

代晨阳 .

中国专利 :CN220783930U ,2024-04-16

[3]

一种晶圆夹持装置 [P].

柯武生 .

中国专利 :CN209104136U ,2019-07-12

[4]

一种晶圆夹持装置 [P].

刘思佳 .

中国专利 :CN204332930U ,2015-05-13

[5]

一种晶圆夹持装置 [P].

孙文杰 ;

肖凌峰 ;

孙雪峰 ;

谭笑 .

中国专利 :CN218160335U ,2022-12-27

[6]

一种晶圆夹持装置 [P].

孔剑 ;

臧晓园 ;

徐晨晨 ;

刘景业 .

中国专利 :CN211208416U ,2020-08-07

[7]

一种晶圆夹持装置 [P].

谷德鑫 .

中国专利 :CN216698333U ,2022-06-07

[8]

一种晶圆夹持装置 [P].

金文祥 ;

王涛涛 ;

臧鹏展 ;

李阿龙 .

中国专利 :CN222190693U ,2024-12-17

[9]

一种晶圆夹持装置 [P].

陆安明 .

中国专利 :CN218241804U ,2023-01-06

[10]

晶圆夹持装置 [P].

王振荣 ;

黄利松 ;

刘红兵 .

中国专利 :CN202495435U ,2012-10-17

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