一种晶圆夹持装置

被引：0

申请号：

CN202222095779.2

申请日：

2022-08-10

公开(公告)号：

CN218241804U

公开(公告)日：

2023-01-06

发明(设计)人：

陆安明

申请人：

申请人地址：

311300 浙江省杭州市临安区青山湖街道创业街88号1幢一层

IPC主分类号：

H01L21687

IPC分类号：

代理机构：

杭州凯知专利代理事务所(普通合伙) 33267

代理人：

邵志

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2023-01-06	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆夹持装置 [P].

柯武生 .

中国专利 :CN209104136U ,2019-07-12

[2]

一种晶圆夹持装置 [P].

刘思佳 .

中国专利 :CN204332930U ,2015-05-13

[3]

一种晶圆夹持装置 [P].

王子菲 .

中国专利 :CN207529917U ,2018-06-22

[4]

一种晶圆夹持装置 [P].

孙文杰 ;

肖凌峰 ;

孙雪峰 ;

谭笑 .

中国专利 :CN218160335U ,2022-12-27

[5]

一种晶圆夹持装置 [P].

孔剑 ;

臧晓园 ;

徐晨晨 ;

刘景业 .

中国专利 :CN211208416U ,2020-08-07

[6]

一种晶圆夹持装置 [P].

谷德鑫 .

中国专利 :CN216698333U ,2022-06-07

[7]

一种晶圆夹持装置 [P].

金文祥 ;

王涛涛 ;

臧鹏展 ;

李阿龙 .

中国专利 :CN222190693U ,2024-12-17

[8]

一种晶圆夹持装置 [P].

樊敬闽 .

中国专利 :CN217983307U ,2022-12-06

[9]

晶圆夹持装置 [P].

王振荣 ;

黄利松 ;

刘红兵 .

中国专利 :CN202495435U ,2012-10-17

[10]

晶圆夹持装置 [P].

万先进 ;

韦俊丞 ;

尤国振 ;

朱松 ;

魏兴亮 ;

锁志勇 ;

边逸军 .

中国专利 :CN223167472U ,2025-07-29

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