硅片少子寿命测试用的气氛控制装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201621358548.4

申请日：

2016-12-12

公开(公告)号：

CN206301761U

公开(公告)日：

2017-07-04

发明(设计)人：

麦耀华沈艳娇陈兵兵郭建新陈剑辉

申请人：

申请人地址：

071002 河北省保定市五四东路180号河北大学

IPC主分类号：

H01L2166

IPC分类号：

代理机构：

石家庄国域专利商标事务所有限公司 13112

代理人：

胡素梅;苏艳肃

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-07-04	授权	授权
2020-11-27	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/66 申请日:20161212 授权公告日:20170704 终止日期:20191212

共 50 条

[1]

硅片少子寿命测试仪用定位装置 [P].

王栋 ;

姜树华 ;

华万峰 .

中国专利 :CN206038840U ,2017-03-22

[2]

用于测试晶体硅体少子寿命的硅片表面处理装置 [P].

李栋 ;

王钰雅 .

中国专利 :CN208507713U ,2019-02-15

[3]

一种用于测试晶体硅体少子寿命的硅片钝化装置 [P].

李琰琪 ;

王栩生 ;

邢国强 .

中国专利 :CN205539353U ,2016-08-31

[4]

一种少子寿命测试仪探头和少子寿命测试仪 [P].

李杰 ;

于友 ;

刘世伟 ;

石坚 .

中国专利 :CN206740917U ,2017-12-12

[5]

半导体材料少子寿命测试装置 [P].

魏博 ;

周诗丽 .

中国专利 :CN205176210U ,2016-04-20

[6]

一种SPV硅片少子寿命检测系统 [P].

朱洪伟 ;

曹伟兵 .

中国专利 :CN211043567U ,2020-07-17

[7]

硅片寿命测试系统 [P].

刘娜 ;

李景 ;

李兵 ;

邓伟伟 .

中国专利 :CN212989559U ,2021-04-16

[8]

测试用开机控制装置 [P].

李铮 .

中国专利 :CN210780815U ,2020-06-16

[9]

硅棒的少子寿命检测装置 [P].

董永灿 ;

安彬 ;

于洋 ;

边志坚 .

中国专利 :CN222979723U ,2025-06-13

[10]

碘蒸气钝化硅片装置及测量少子寿命的预处理系统 [P].

杨鹏飞 ;

朱志高 .

中国专利 :CN218478826U ,2023-02-14

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