一种单晶硅片清洗烘干一体化装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201720669752.6

申请日：

2017-06-10

公开(公告)号：

CN206838659U

公开(公告)日：

2018-01-05

发明(设计)人：

李秀春

申请人：

申请人地址：

353300 福建省三明市将乐县积善工业园区

IPC主分类号：

B08B312

IPC分类号：

B08B700 F26B2100

代理机构：

北京天奇智新知识产权代理有限公司 11340

代理人：

曾捷

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-05-31	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B08B 3/12 申请日:20170610 授权公告日:20180105 终止日期:20180610
2018-01-05	授权	授权

共 50 条

[1]

一种单晶硅片清洗装置 [P].

李秀春 .

中国专利 :CN206838660U ,2018-01-05

[2]

一种单晶硅片烘干装置 [P].

光善如 .

中国专利 :CN218155333U ,2022-12-27

[3]

一种单晶硅片烘干装置 [P].

陈子轩 ;

孔繁政 ;

陈亚男 .

中国专利 :CN218380329U ,2023-01-24

[4]

一种单晶硅片烘干装置 [P].

何其金 ;

方艺霖 ;

何飞 ;

张靖 ;

徐小萍 .

中国专利 :CN221005842U ,2024-05-24

[5]

一种蔬菜清洗切丝一体化装置 [P].

郑澎涛 .

中国专利 :CN216906753U ,2022-07-08

[6]

一种单晶硅片清洗装置 [P].

陈子轩 ;

孔繁政 ;

陈亚男 .

中国专利 :CN218361035U ,2023-01-24

[7]

一种单晶硅片清洗装置 [P].

光善如 ;

程世显 ;

熊文金 .

中国专利 :CN216937348U ,2022-07-12

[8]

单晶硅片清洗装置 [P].

朱玲 ;

朱汪龙 ;

王兰 .

中国专利 :CN206271669U ,2017-06-20

[9]

一种单晶硅片垂直清洗装置 [P].

朱汪龙 ;

朱玲 .

中国专利 :CN210995605U ,2020-07-14

[10]

一种单晶硅片烘干装置 [P].

代刚 ;

贾涛 ;

赵富军 .

中国专利 :CN214501963U ,2021-10-26

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