一种单晶硅片垂直清洗装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201921861677.9

申请日：

2019-10-31

公开(公告)号：

CN210995605U

公开(公告)日：

2020-07-14

发明(设计)人：

朱汪龙朱玲

申请人：

申请人地址：

214028 江苏省无锡市新吴区景贤路52号

IPC主分类号：

B08B312

IPC分类号：

B08B308 H01L2167 H01L2102

代理机构：

南京经纬专利商标代理有限公司 32200

代理人：

曹佩佩

法律状态：

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国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-07-14	授权	授权

共 50 条

[1]

一种垂直式单晶硅片清洗槽 [P].

王全文 ;

李鹭 ;

杨蛟 .

中国专利 :CN208450074U ,2019-02-01

[2]

单晶硅片清洗装置 [P].

朱玲 ;

朱汪龙 ;

王兰 .

中国专利 :CN206271669U ,2017-06-20

[3]

一种单晶硅片清洗装置 [P].

陈子轩 ;

孔繁政 ;

陈亚男 .

中国专利 :CN218361035U ,2023-01-24

[4]

单晶硅片清洗装置 [P].

曹建鸿 .

中国专利 :CN106955864A ,2017-07-18

[5]

一种单晶硅片清洗装置 [P].

李秀春 .

中国专利 :CN206838660U ,2018-01-05

[6]

一种单晶硅片超声波清洗机 [P].

王全文 ;

李鹭 ;

杨蛟 .

中国专利 :CN208538804U ,2019-02-22

[7]

一种单晶硅片的超声波清洗装置 [P].

倪云达 ;

葛正芳 ;

钱大丰 .

中国专利 :CN202134514U ,2012-02-01

[8]

一种单晶硅片的超声波清洗装置 [P].

李秀春 .

中国专利 :CN206838655U ,2018-01-05

[9]

单晶硅片清洗装置 [P].

向菊 .

中国专利 :CN213079309U ,2021-04-30

[10]

一种超声波单晶硅片清洗槽 [P].

王全文 ;

李鹭 ;

杨蛟 .

中国专利 :CN208450075U ,2019-02-01

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