一种垂直式单晶硅片清洗槽

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201820938811.X

申请日：

2018-06-19

公开(公告)号：

CN208450074U

公开(公告)日：

2019-02-01

发明(设计)人：

王全文李鹭杨蛟

申请人：

申请人地址：

611230 四川省成都市崇州经济开发区泗维路265号

IPC主分类号：

B08B312

IPC分类号：

B08B1300 H01L2167

代理机构：

成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230

代理人：

谢建;吴静宜

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-02-01	授权	授权

共 50 条

[1]

一种单晶硅片垂直清洗装置 [P].

朱汪龙 ;

朱玲 .

中国专利 :CN210995605U ,2020-07-14

[2]

一种超声波单晶硅片清洗槽 [P].

王全文 ;

李鹭 ;

杨蛟 .

中国专利 :CN208450075U ,2019-02-01

[3]

一种单晶硅片清洗装置 [P].

陈子轩 ;

孔繁政 ;

陈亚男 .

中国专利 :CN218361035U ,2023-01-24

[4]

一种单晶硅片超声波清洗机 [P].

王全文 ;

李鹭 ;

杨蛟 .

中国专利 :CN208538804U ,2019-02-22

[5]

单晶硅片清洗装置 [P].

朱玲 ;

朱汪龙 ;

王兰 .

中国专利 :CN206271669U ,2017-06-20

[6]

单晶硅片清洗装置 [P].

曹建鸿 .

中国专利 :CN106955864A ,2017-07-18

[7]

一种超声波单晶硅片清洗槽 [P].

朱汪龙 ;

朱玲 .

中国专利 :CN210995606U ,2020-07-14

[8]

一种超声波单晶硅片清洗槽 [P].

光善如 ;

程世显 ;

熊文金 .

中国专利 :CN217342606U ,2022-09-02

[9]

一种单晶硅片清洗用槽式清洗机 [P].

郭芳伟 ;

叶永洋 ;

巩尊秀 .

中国专利 :CN116741664B ,2024-11-01

[10]

一种清洗单晶硅片表面设备 [P].

谭鑫 ;

李鸿邦 ;

付亮 ;

王斗 .

中国专利 :CN117415086A ,2024-01-19

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