一种清洗单晶硅片表面设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202311653144.2

申请日：

2023-12-05

公开(公告)号：

CN117415086A

公开(公告)日：

2024-01-19

发明(设计)人：

谭鑫李鸿邦付亮王斗

申请人：

曲靖阳光新能源股份有限公司

申请人地址：

云南省曲靖市开发区翠峰路83号

IPC主分类号：

B08B3/12

IPC分类号：

B08B3/10 B08B3/02 B08B13/00 B08B3/08

代理机构：

北京深川专利代理事务所(普通合伙) 16058

代理人：

张艳虎

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

河北省石家庄市

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-02-06	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):B08B 3/12申请日:20231205
2024-01-19	公开	公开

共 50 条

[1]

单晶硅片清洗装置 [P].

曹建鸿 .

中国专利 :CN106955864A ,2017-07-18

[2]

一种单晶硅片清洗装置 [P].

陈子轩 ;

孔繁政 ;

陈亚男 .

中国专利 :CN218361035U ,2023-01-24

[3]

一种单晶硅片超声波清洗机 [P].

王全文 ;

李鹭 ;

杨蛟 .

中国专利 :CN208538804U ,2019-02-22

[4]

单晶硅片清洗装置 [P].

朱玲 ;

朱汪龙 ;

王兰 .

中国专利 :CN206271669U ,2017-06-20

[5]

一种单晶硅片清洗方法 [P].

魏泽武 ;

王艺澄 ;

王友 .

中国专利 :CN111613519A ,2020-09-01

[6]

一种用于单晶硅片的清洗沥干装置 [P].

王德喜 .

中国专利 :CN211907397U ,2020-11-10

[7]

一种垂直式单晶硅片清洗槽 [P].

王全文 ;

李鹭 ;

杨蛟 .

中国专利 :CN208450074U ,2019-02-01

[8]

一种清洗单晶硅片表面的方法 [P].

彭文强 ;

廖建刚 .

中国专利 :CN103681239B ,2014-03-26

[9]

单晶硅片的清洗工艺 [P].

孙亮湖 .

中国专利 :CN102327882A ,2012-01-25

[10]

一种单晶硅片表面清洗装置 [P].

霍育强 ;

刘睿 ;

马建强 ;

包全民 ;

刘君 ;

蒋新刚 ;

郑双喜 .

中国专利 :CN222999278U ,2025-06-20

← 1 2 3 4 5 →