有机金属铜络合物的铜薄膜的化学汽相淀积制备法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN01143189.X

申请日：

2001-11-06

公开(公告)号：

CN1363720A

公开(公告)日：

2002-08-14

发明(设计)人：

角田巧高井勉绵贯耕平

申请人：

申请人地址：

日本山口县

IPC主分类号：

C23C1618

IPC分类号：

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司

代理人：

庞立志;杨丽琴

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2004-07-21	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回
2002-08-14	公开	公开

共 50 条

[1]

铜络合物和利用该铜络合物形成含铜薄膜的方法 [P].

角田巧 ;

长谷川千寻 ;

绵贯耕平 .

中国专利 :CN1642964A ,2005-07-20

[2]

用于化学汽相淀积的有机金属化合物及其制造方法,钌膜及钌化合物膜的化学汽相淀积法 [P].

冈本浩治 .

中国专利 :CN1185241C ,2002-07-10

[3]

用于铜金属沉积的铜的吡咯基络合物 [P].

V·格鲁申 .

中国专利 :CN1688741A ,2005-10-26

[4]

蔗糖铜络合物的制备方法 [P].

周建群 .

中国专利 :CN106243176B ,2016-12-21

[5]

化学汽相淀积装置的净化方法 [P].

长谷川博之 ;

山冈智则 ;

石原良夫 ;

增崎宏 ;

佐藤贵之 ;

铃木克昌 ;

德永裕树 .

中国专利 :CN1497061A ,2004-05-19

[6]

淀积碳的微波增强化学汽相淀积(CVD)方法 [P].

山崎舜平 .

中国专利 :CN88101061A ,1988-09-07

[7]

作为金属铜沉积前体的草酸二铜（I）络合物 [P].

K·克勒 ;

F·迈尔 .

中国专利 :CN1300149C ,2005-08-31

[8]

铜络合物除藻剂的制备方法 [P].

苏衡 ;

李小平 .

中国专利 :CN101244953B ,2008-08-20

[9]

用于制造薄膜的化学汽相淀积设备的加热器 [P].

严坪镕 .

中国专利 :CN100433262C ,2006-03-01

[10]

一种含铜络合物废水高效电化学还原回收铜的方法 [P].

毛舜 ;

秦贺贺 ;

柳祥雲 .

中国专利 :CN116143244B ,2025-05-30

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