化合物、树脂、组合物、以及抗蚀图案形成方法和电路图案形成方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201780057702.5

申请日：

2017-09-20

公开(公告)号：

CN109790097A

公开(公告)日：

2019-05-21

发明(设计)人：

越后雅敏

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

C07C3915

IPC分类号：

C07C3917 G03F711 G03F720 G03F740 H01L21027

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

刘新宇;李茂家

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-07-19	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C07C 39/15 申请日:20170920
2019-05-21	公开	公开
2021-12-14	发明专利申请公布后的撤回	发明专利申请公布后的撤回 IPC(主分类):C07C 39/15 申请公布日:20190521

共 50 条

[1]

化合物、树脂、组合物、以及抗蚀图案形成方法和电路图案形成方法 [P].

越后雅敏 .

中国专利 :CN109715591A ,2019-05-03

[2]

化合物、树脂、组合物以及抗蚀图案形成方法及电路图案形成方法 [P].

越后雅敏 .

中国专利 :CN109476575A ,2019-03-15

[3]

化合物、树脂、组合物、抗蚀图案形成方法和电路图案形成方法 [P].

樋田匠 ;

佐藤隆 ;

越后雅敏 .

中国专利 :CN108473639A ,2018-08-31

[4]

化合物、树脂和组合物、以及抗蚀图案形成方法和电路图案形成方法 [P].

越后雅敏 .

中国专利 :CN109803950A ,2019-05-24

[5]

化合物、树脂、组合物以及抗蚀图案形成方法及电路图案形成方法 [P].

越后雅敏 .

中国专利 :CN109476576A ,2019-03-15

[6]

化合物、树脂、组合物、以及抗蚀图案形成方法和图案形成方法 [P].

越后雅敏 .

中国专利 :CN109790175A ,2019-05-21

[7]

化合物、树脂、组合物、抗蚀图案形成方法、电路图案形成方法和树脂的纯化方法 [P].

牧野岛高史 ;

堀内淳矢 ;

越后雅敏 .

中国专利 :CN111655662A ,2020-09-11

[8]

化合物、树脂、组合物以及抗蚀图案形成方法和电路图案形成方法 [P].

越后雅敏 .

中国专利 :CN110023276A ,2019-07-16

[9]

化合物、树脂、组合物以及抗蚀图案形成方法及电路图案形成方法 [P].

越后雅敏 .

中国专利 :CN110023277A ,2019-07-16

[10]

化合物、树脂、组合物、抗蚀图案的形成方法、电路图案形成方法、及纯化方法 [P].

佐藤隆 ;

越后雅敏 ;

牧野岛高史 .

中国专利 :CN113260645A ,2021-08-13

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