半导体乘载盘及其乘载单元

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201621393385.3

申请日：

2016-12-19

公开(公告)号：

CN206250165U

公开(公告)日：

2017-06-13

发明(设计)人：

王智

申请人：

申请人地址：

中国台湾台中市

IPC主分类号：

H01L21673

IPC分类号：

代理机构：

北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100

代理人：

张晶;郭佩兰

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-06-13	授权	授权

共 50 条

[1]

乘载系统 [P].

飞利浦史提芬·布隆 ;

滨·叶 .

中国专利 :CN201848090U ,2011-06-01

[2]

流体乘载床 [P].

施包铭 .

中国专利 :CN205696809U ,2016-11-23

[3]

基板的乘载台 [P].

白井明 .

中国专利 :CN208880373U ,2019-05-21

[4]

半导体作业载盘及半导体设备 [P].

冯彬 ;

李慧 ;

张诺琦 .

中国专利 :CN223450860U ,2025-10-17

[5]

半导体载具 [P].

徐刚刚 ;

豆维星 ;

朱泉荣 .

中国专利 :CN222037465U ,2024-11-22

[6]

制冷载盘装置及半导体设备 [P].

洪俊华 ;

夏世伟 ;

王占柱 .

中国专利 :CN220306221U ,2024-01-05

[7]

半导体封装模组用金属载盘 [P].

欧阳晃 ;

周多 ;

田利 .

中国专利 :CN223560272U ,2025-11-18

[8]

半导体元件移动载具 [P].

金永斌 ;

府伟 .

中国专利 :CN203300619U ,2013-11-20

[9]

一种半导体晶圆载盘 [P].

张雄 ;

陈辉雄 ;

何豪文 .

中国专利 :CN221747194U ,2024-09-20

[10]

半导体载具 [P].

吉祥 ;

卢海伦 ;

徐鸿飞 ;

束方沛 .

中国专利 :CN206349343U ,2017-07-21

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