一种用于装填固态金属有机源的专用钢瓶

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201720995189.1

申请日：

2017-08-10

公开(公告)号：

CN207230150U

公开(公告)日：

2018-04-13

发明(设计)人：

俞冬雷王伟徐昕

申请人：

申请人地址：

241009 安徽省芜湖市经济技术开发区赤铸山路26号

IPC主分类号：

F17C100

IPC分类号：

F17C1304 F17C1300

代理机构：

南京正联知识产权代理有限公司 32243

代理人：

胡定华

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-04-13	授权	授权

共 50 条

[31]

一种用于扩散炉的源瓶压力控制系统 [P].

韩泉 ;

张勇 .

中国专利 :CN207811933U ,2018-09-04

[32]

一种MO源钢瓶的安装结构 [P].

郑江 ;

薛亮 .

中国专利 :CN210261977U ,2020-04-07

[33]

一种制备半导体材料的金属有机源喷雾装置及其工艺 [P].

王丽 .

中国专利 :CN111979527A ,2020-11-24

[34]

一种固态源瓶 [P].

刘彦峰 ;

赖海斌 ;

王桐 ;

王韫宇 ;

赵茂生 .

中国专利 :CN213835530U ,2021-07-30

[35]

一种用于煮练的进气装置 [P].

李红维 .

中国专利 :CN211340050U ,2020-08-25

[36]

一种超大容量MO源钢瓶 [P].

薛亮 ;

郑江 .

中国专利 :CN211118729U ,2020-07-28

[37]

一种便于压力调节的MO源钢瓶 [P].

薛亮 ;

郑江 .

中国专利 :CN215569695U ,2022-01-18

[38]

一种共用金属源的HVPE装置 [P].

赵毛毛 ;

徐琳 ;

金超 .

中国专利 :CN216639708U ,2022-05-31

[39]

一种轻烃燃料专用钢瓶 [P].

温端稿 .

中国专利 :CN2619136Y ,2004-06-02

[40]

一种MO源钢瓶专用的残留物处理装置 [P].

顾宏伟 ;

茅嘉原 ;

李敏 ;

王士峰 ;

洪海燕 ;

严金林 ;

刘纪亮 .

中国专利 :CN206754801U ,2017-12-15

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