一种用于装填固态金属有机源的专用钢瓶

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN201720995189.1
申请日
2017-08-10
公开(公告)号
CN207230150U
公开(公告)日
2018-04-13
发明(设计)人
俞冬雷 王伟 徐昕
申请人
申请人地址
241009 安徽省芜湖市经济技术开发区赤铸山路26号
IPC主分类号
F17C100
IPC分类号
F17C1304 F17C1300
代理机构
南京正联知识产权代理有限公司 32243
代理人
胡定华
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[21]
制备半导体材料的金属有机源喷雾器 [P]. 
董毅 .
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[22]
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[23]
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徐耀中 ;
任丹丹 .
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[24]
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薛亮 ;
郑江 .
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[25]
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[26]
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[27]
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杨晖 ;
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[28]
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[29]
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[30]
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郑江 ;
薛亮 .
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