用于等离子体处理装置的传输装置和等离子体处理装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202022429234.1

申请日：

2020-10-27

公开(公告)号：

CN214043597U

公开(公告)日：

2021-08-24

发明(设计)人：

林雅萍黄秋平

申请人：

申请人地址：

200120 上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路188号

IPC主分类号：

H01J3732

IPC分类号：

H01L21677 H01L2167

代理机构：

深圳中创智财知识产权代理有限公司 44553

代理人：

文言;田宇

法律状态：

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国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-08-24	授权	授权

共 50 条

[1]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

山田和人 ;

远藤宏纪 ;

佐藤贵志 .

日本专利 :CN112117178B ,2024-07-12

[2]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

佐佐木佑治 .

中国专利 :CN115346851A ,2022-11-15

[3]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

山田和人 ;

远藤宏纪 ;

佐藤贵志 .

中国专利 :CN112117178A ,2020-12-22

[4]

等离子体处理方法和等离子体处理装置 [P].

矢幡将二郎 ;

佐藤徹治 .

中国专利 :CN113345787A ,2021-09-03

[5]

等离子体处理方法和等离子体处理装置 [P].

岸宏树 ;

徐智洙 .

中国专利 :CN106920733B ,2017-07-04

[6]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

山岸幸司 ;

白泽大辅 .

中国专利 :CN112992643A ,2021-06-18

[7]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

池田太郎 .

中国专利 :CN1554114A ,2004-12-08

[8]

等离子体处理方法和等离子体处理装置 [P].

李诚泰 ;

土桥和也 .

中国专利 :CN102347231B ,2012-02-08

[9]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

舆水地盐 ;

山泽阳平 .

中国专利 :CN102522304A ,2012-06-27

[10]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

东条利洋 ;

藤井祐希 .

中国专利 :CN107275179A ,2017-10-20

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