一种微型钨铼薄膜热电偶温度传感器芯片及其制作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510077226.6

申请日：

2015-02-12

公开(公告)号：

CN104655306A

公开(公告)日：

2015-05-27

发明(设计)人：

田边张仲恺郑晨蒋庄德

申请人：

申请人地址：

710049 陕西省西安市咸宁西路28号

IPC主分类号：

G01K704

IPC分类号：

G01K710

代理机构：

西安通大专利代理有限责任公司 61200

代理人：

陆万寿

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-06-24	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101614591514 IPC(主分类):G01K 7/04 专利申请号:2015100772266 申请日:20150212
2019-08-30	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G01K 7/04 申请公布日:20150527
2015-05-27	公开	公开

共 50 条

[1]

一种钨铼薄膜热电偶传感芯片的封装结构及其制作方法 [P].

田边 ;

郑晨 ;

张仲恺 ;

任巍 ;

蒋庄德 .

中国专利 :CN105651406B ,2016-06-08

[2]

薄膜热电偶温度传感器 [P].

李嘉恒 ;

阮勇 ;

吴宇 ;

石萌 .

中国专利 :CN118168677A ,2024-06-11

[3]

一种探头式薄膜热电偶温度传感器及其制作方法 [P].

马炳和 ;

邱涛 ;

金新航 ;

邓进军 ;

苑伟政 ;

姜澄宇 .

中国专利 :CN108007595A ,2018-05-08

[4]

含高温保护薄膜组的钨铼薄膜热电偶传感器及制备方法 [P].

田边 ;

张仲恺 ;

郑晨 ;

史鹏 ;

蒋庄德 .

中国专利 :CN105675160B ,2016-06-15

[5]

一种薄膜热电偶温度传感器 [P].

孙宝元 ;

曾其勇 ;

徐静 .

中国专利 :CN100351618C ,2006-03-29

[6]

一种可跟随磨损薄膜热电偶温度传感器及其制作方法 [P].

崔云先 ;

曹凯迪 ;

毛银 ;

殷俊伟 .

中国专利 :CN113324669A ,2021-08-31

[7]

一种高灵敏薄膜热电偶传感器芯片及制作方法 [P].

田边 ;

张仲恺 ;

于秋跃 ;

林启敬 ;

史鹏 ;

杜喆 ;

景蔚萱 ;

蒋庄德 .

中国专利 :CN106908163B ,2017-06-30

[8]

一种高温薄膜热电偶温度传感器 [P].

袁玉华 ;

陈鹏 ;

秦永强 ;

刘统春 ;

李炜 .

中国专利 :CN104748876A ,2015-07-01

[9]

柔性薄膜热电偶温度传感器 [P].

白庆星 ;

景涛 ;

张龙赐 ;

谢明 ;

龚星 ;

谷晨 .

中国专利 :CN205157074U ,2016-04-13

[10]

基于表面改性钨铼热电偶的高温温度传感器 [P].

赵俭 ;

杨永军 ;

王毅 ;

荆卓寅 ;

王鹏 .

中国专利 :CN102095517A ,2011-06-15

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