旋转式硅晶片清洗装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN03801601.X

申请日：

2003-09-11

公开(公告)号：

CN100359641C

公开(公告)日：

2008-01-02

发明(设计)人：

大见忠弘白井泰雪藤田巧皆见幸男池田信一森本明弘川田幸司

申请人：

申请人地址：

日本大阪府

IPC主分类号：

H01L21304

IPC分类号：

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司

代理人：

温大鹏;杨松龄

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-04-13	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101062754272 IPC(主分类):H01L 21/304 专利号:ZL03801601X 申请日:20030911 授权公告日:20080102 终止日期:20091012
2005-05-18	实质审查的生效	实质审查的生效
2008-01-02	授权	授权

共 50 条

[1]

旋转式活塞清洗装置 [P].

吴锦中 .

中国专利 :CN215355007U ,2021-12-31

[2]

旋转式餐具清洗装置 [P].

曾跃辉 .

中国专利 :CN214017454U ,2021-08-24

[3]

可旋转式清洗装置 [P].

李红 ;

李琳 ;

蒲丽娟 ;

苟苹 ;

李蕊西 .

中国专利 :CN222264316U ,2024-12-31

[4]

旋转式内部清洗装置 [P].

高贵焕 ;

徐清 .

中国专利 :CN211914751U ,2020-11-13

[5]

旋转式水果清洗装置 [P].

黄家寅 .

中国专利 :CN109393520A ,2019-03-01

[6]

旋转式干冰清洗装置 [P].

袁海星 ;

吕峰 ;

沈海平 ;

刘凯 ;

刘庭 ;

肖宾 ;

苏梓铭 ;

宁昕 .

中国专利 :CN208288612U ,2018-12-28

[7]

旋转式干冰清洗装置 [P].

袁海星 ;

吕峰 ;

沈海平 ;

刘凯 ;

刘庭 ;

肖宾 ;

苏梓铭 ;

宁昕 .

中国专利 :CN108372159A ,2018-08-07

[8]

一种硅晶片清洗装置 [P].

魏运秀 .

中国专利 :CN111883468A ,2020-11-03

[9]

一种硅晶片清洗装置 [P].

朱汪龙 ;

朱玲 .

中国专利 :CN210995512U ,2020-07-14

[10]

旋转式铝沫清洗装置 [P].

王伯云 .

中国专利 :CN104874560A ,2015-09-02

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