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一种双面晶圆外观缺陷检测机
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202110134535.8
申请日：
2021-02-02
公开(公告)号：
CN112791976A
公开(公告)日：
2021-05-14
发明(设计)人：
杨勇
申请人：
申请人地址：
215000 江苏省苏州市高新区培源路1号软件大厦5号楼203（1）
IPC主分类号：
B07C502
IPC分类号：
B07C534
代理机构：
苏州言思嘉信专利代理事务所(普通合伙) 32385
代理人：
刘巍
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-06-01 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):B07C 5/02 申请日:20210202 |
| 2021-05-14 | 公开 | 公开 |