共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
一种双面晶圆外观缺陷检测机
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202120300156.7
申请日：
2021-02-02
公开(公告)号：
CN214347979U
公开(公告)日：
2021-10-08
发明(设计)人：
杨勇
申请人：
申请人地址：
215000 江苏省苏州市高新区培源路1号软件大厦5号楼203（1）
IPC主分类号：
B07C502
IPC分类号：
B07C534
代理机构：
苏州言思嘉信专利代理事务所(普通合伙) 32385
代理人：
刘巍
法律状态：
授权
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-10-08 | 授权 | 授权 |