共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
一种晶圆外观检测机
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201821069452.5
申请日：
2018-07-06
公开(公告)号：
CN208400811U
公开(公告)日：
2019-01-18
发明(设计)人：
张乔栋
孙健
陈业
李锋
申请人：
申请人地址：
223002 江苏省淮安市工业园区发展大道18号
IPC主分类号：
H01L2166
IPC分类号：
B08B502
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-01-18 | 授权 | 授权 |