显影液的配制装置和方法

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专利类型
发明
申请号
CN93121504.8
申请日
1993-12-28
公开(公告)号
CN1090522A
公开(公告)日
1994-08-10
发明(设计)人
田口敏 末次益实 长濑勉 中川则一
申请人
申请人地址
日本大阪府
IPC主分类号
B01F308
IPC分类号
B01F1504 G05B100 H01L2130
代理机构
中国专利代理(香港)有限公司
代理人
付康;程天正
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
显影液的浓度调节方法、调制装置和显影液 [P]. 
高崎纪博 ;
杉本建二 ;
棚桥亮太 ;
板东嘉文 ;
能谷敦子 ;
谷口克人 .
中国专利 :CN103852978B ,2014-06-11
[2]
显影液的浓度调节方法、调制装置和显影液 [P]. 
高崎纪博 ;
杉本建二 ;
棚桥亮太 ;
板东嘉文 ;
能谷敦子 ;
谷口克人 .
中国专利 :CN101563654A ,2009-10-21
[3]
显影液制造装置及显影液制造方法 [P]. 
中川俊元 ;
菊川诚 ;
小川修 ;
森田悟 ;
宝山隆博 .
中国专利 :CN1237398C ,2002-10-09
[4]
显影液浓度测量装置及方法 [P]. 
蔡在秉 ;
李彦泽 ;
陈仲仁 ;
邓强 ;
金明光 ;
汪直超 ;
韦智强 ;
黄家都 ;
何崇嘉 ;
李德全 .
中国专利 :CN109632571A ,2019-04-16
[5]
废显影液再生装置和废显影液再生方法 [P]. 
小川修 ;
小早川泰之 ;
北川悌也 ;
菊川诚 .
中国专利 :CN1298636C ,2004-06-16
[6]
显影液供应系统、方法和显影设备 [P]. 
张小祥 ;
郭总杰 ;
刘正 ;
张治超 ;
王守坤 ;
刘明悬 .
中国专利 :CN104102096A ,2014-10-15
[7]
显影液供给装置 [P]. 
板东嘉文 ;
柴田崇弘 .
中国专利 :CN1441321A ,2003-09-10
[8]
显影处理方法和显影液涂布装置 [P]. 
吉原孝介 ;
田中启一 ;
山本太郎 ;
京田秀治 ;
竹口博史 ;
大河内厚 .
中国专利 :CN1743963A ,2006-03-08
[9]
显影液喷嘴组件和显影装置 [P]. 
伍强 ;
郝静安 ;
孔德平 .
中国专利 :CN203882094U ,2014-10-15
[10]
显影液过滤系统及显影液的过滤方法 [P]. 
林子扬 ;
刘朕与 ;
张庆裕 ;
林进祥 .
中国专利 :CN109806658B ,2019-05-28