智能型磁控溅射真空镀膜机

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN201720562642.X
申请日
2017-05-19
公开(公告)号
CN207002836U
公开(公告)日
2018-02-13
发明(设计)人
张一为
申请人
申请人地址
321000 浙江省金华市金东区孝顺镇镇北功能区
IPC主分类号
C23C1435
IPC分类号
C23C1454
代理机构
杭州千克知识产权代理有限公司 33246
代理人
童健
法律状态
授权
国省代码
引用
下载
收藏
共 50 条
[1]
一种磁控溅射真空镀膜机 [P]. 
戴建新 ;
戴科晨 .
中国专利 :CN116288198B ,2025-04-15
[2]
真空磁控溅射镀膜机 [P]. 
林锡强 ;
陈孝田 .
中国专利 :CN201793725U ,2011-04-13
[3]
真空镀膜机(磁控溅射) [P]. 
李飞 ;
杨占锋 ;
李桂洋 ;
潘士保 ;
张志聪 .
中国专利 :CN307706673S ,2022-12-02
[4]
真空磁控溅射镀膜机 [P]. 
朱国朝 ;
袁安素 ;
沈学忠 ;
温振伟 .
中国专利 :CN206692724U ,2017-12-01
[5]
真空镀膜机磁控溅射靶装置 [P]. 
黄瑞安 .
中国专利 :CN201890921U ,2011-07-06
[6]
磁控溅射真空镀膜机腔体 [P]. 
杜建飞 .
中国专利 :CN309125686S ,2025-02-18
[7]
磁控溅射真空镀膜机组 [P]. 
章新良 ;
彭为报 ;
崔介东 ;
龚瑞 .
中国专利 :CN201801582U ,2011-04-20
[8]
一种磁控溅射真空镀膜机 [P]. 
谢学东 ;
谢辉东 .
中国专利 :CN214327869U ,2021-10-01
[9]
一种磁控溅射真空镀膜机 [P]. 
宋泳东 .
中国专利 :CN210916237U ,2020-07-03
[10]
双面磁控溅射真空镀膜机及其真空镀膜方法 [P]. 
李金明 .
中国专利 :CN113502459A ,2021-10-15