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真空镀膜机磁控溅射靶装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201020628684.7
申请日：
2010-11-26
公开(公告)号：
CN201890921U
公开(公告)日：
2011-07-06
发明(设计)人：
黄瑞安
申请人：
申请人地址：
515735 广东省潮州市饶平县三饶镇三饶居委会城东路16号
IPC主分类号：
C23C1435
IPC分类号：
代理机构：
广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙) 44288
代理人：
廖平
法律状态：
专利权的终止
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2014-01-15 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101563727192 IPC(主分类):C23C 14/35 专利号:ZL2010206286847 申请日:20101126 授权公告日:20110706 终止日期:20121126 |
| 2011-07-06 | 授权 | 授权 |