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一种磁控溅射真空镀膜机
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201921984471.5
申请日：
2019-11-18
公开(公告)号：
CN210916237U
公开(公告)日：
2020-07-03
发明(设计)人：
宋泳东
申请人：
申请人地址：
266000 山东省青岛市即墨区环秀街道办事处国家泊子村
IPC主分类号：
C23C1435
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-07-03 | 授权 | 授权 |