一种双室磁控溅射真空镀膜机

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专利类型
实用新型
申请号
CN201921885786.4
申请日
2019-11-04
公开(公告)号
CN210886206U
公开(公告)日
2020-06-30
发明(设计)人
吴炳照
申请人
申请人地址
214000 江苏省无锡市滨湖区胡埭工业园石榴路9号
IPC主分类号
C23C1435
IPC分类号
代理机构
无锡睿升知识产权代理事务所(普通合伙) 32376
代理人
姬颖敏
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
一种双室磁控溅射真空镀膜机 [P]. 
邓志超 .
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[2]
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真空镀膜机(磁控溅射) [P]. 
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李桂洋 ;
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[5]
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[6]
一种磁控溅射真空镀膜机 [P]. 
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[7]
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[9]
磁控真空镀膜机 [P]. 
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[10]
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