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一种双室磁控溅射真空镀膜机
被引:0
专利类型
:
实用新型
申请号
:
CN201921885786.4
申请日
:
2019-11-04
公开(公告)号
:
CN210886206U
公开(公告)日
:
2020-06-30
发明(设计)人
:
吴炳照
申请人
:
申请人地址
:
214000 江苏省无锡市滨湖区胡埭工业园石榴路9号
IPC主分类号
:
C23C1435
IPC分类号
:
代理机构
:
无锡睿升知识产权代理事务所(普通合伙) 32376
代理人
:
姬颖敏
法律状态
:
授权
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2020-06-30
授权
授权
共 50 条
[1]
一种双室磁控溅射真空镀膜机
[P].
邓志超
论文数:
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0
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0
邓志超
.
中国专利
:CN217351516U
,2022-09-02
[2]
一种磁控溅射真空镀膜机
[P].
宋泳东
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0
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宋泳东
.
中国专利
:CN210916237U
,2020-07-03
[3]
真空镀膜机(磁控溅射)
[P].
李飞
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李飞
;
杨占锋
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杨占锋
;
李桂洋
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李桂洋
;
潘士保
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潘士保
;
张志聪
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张志聪
.
中国专利
:CN307706673S
,2022-12-02
[4]
一种单室磁控溅射真空镀膜机
[P].
黄成日
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黄成日
;
池连花
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池连花
;
张坡
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张坡
.
中国专利
:CN214830638U
,2021-11-23
[5]
一种磁控溅射真空镀膜机
[P].
谢学东
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谢学东
;
谢辉东
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谢辉东
.
中国专利
:CN214327869U
,2021-10-01
[6]
一种磁控溅射真空镀膜机
[P].
黎方建
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黎方建
.
中国专利
:CN112126904A
,2020-12-25
[7]
真空镀膜机磁控溅射靶装置
[P].
黄瑞安
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黄瑞安
.
中国专利
:CN201890921U
,2011-07-06
[8]
磁控溅射真空镀膜机腔体
[P].
杜建飞
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机构:
重庆欧宜腾智能装备有限公司
重庆欧宜腾智能装备有限公司
杜建飞
.
中国专利
:CN309125686S
,2025-02-18
[9]
磁控真空镀膜机
[P].
吴炳照
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0
吴炳照
.
中国专利
:CN210886201U
,2020-06-30
[10]
一种新型磁控溅射真空镀膜机
[P].
王涛
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机构:
山东瑞科森真空设备有限公司
山东瑞科森真空设备有限公司
王涛
;
李娜
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机构:
山东瑞科森真空设备有限公司
山东瑞科森真空设备有限公司
李娜
;
盛永利
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机构:
山东瑞科森真空设备有限公司
山东瑞科森真空设备有限公司
盛永利
;
郑立冬
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机构:
山东瑞科森真空设备有限公司
山东瑞科森真空设备有限公司
郑立冬
;
张奇
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机构:
山东瑞科森真空设备有限公司
山东瑞科森真空设备有限公司
张奇
.
中国专利
:CN220503175U
,2024-02-20
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