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一种磁控溅射真空镀膜机
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202011004498.0
申请日：
2020-09-22
公开(公告)号：
CN112126904A
公开(公告)日：
2020-12-25
发明(设计)人：
黎方建
申请人：
申请人地址：
405400 重庆市开州区巫山乡盘龙村91号
IPC主分类号：
C23C1435
IPC分类号：
C23C1456
代理机构：
代理人：
法律状态：
发明专利申请公布后的撤回
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-04-05 | 发明专利申请公布后的撤回 | 发明专利申请公布后的撤回 IPC(主分类):C23C 14/35 申请公布日:20201225 |
| 2021-01-12 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/35 申请日:20200922 |
| 2020-12-25 | 公开 | 公开 |