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一种磁控溅射真空镀膜机
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202410840530.0
申请日：
2024-06-27
公开(公告)号：
CN118390017B
公开(公告)日：
2024-09-03
发明(设计)人：
张勇军
卢成
王伟
魏佳
刘维龙
申请人：
成都国泰真空设备有限公司
申请人地址：
610000 四川省成都市温江区成都海峡两岸科技产业开发园科林西路618号
IPC主分类号：
C23C14/35
IPC分类号：
代理机构：
成都顶峰专利事务所(普通合伙) 51224
代理人：
邓园
法律状态：
授权
国省代码：
四川省
成都市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-09-03 | 授权 | 授权 |
| 2024-07-26 | 公开 | 公开 |
| 2024-08-13 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/35申请日:20240627 |