一种表面磁控溅射真空镀膜机

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202420359942.8
申请日
2024-02-27
公开(公告)号
CN221837085U
公开(公告)日
2024-10-15
发明(设计)人
宗武龙 胡枭 巴威
申请人
湖北仁齐科技有限公司
申请人地址
438000 湖北省黄冈市麻城经济开发区兴隆路
IPC主分类号
C23C14/35
IPC分类号
代理机构
成都环泰专利代理事务所(特殊普通合伙) 51242
代理人
朱霞
法律状态
授权
国省代码
湖北省 黄冈市
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共 50 条
[1]
真空镀膜机(磁控溅射) [P]. 
李飞 ;
杨占锋 ;
李桂洋 ;
潘士保 ;
张志聪 .
中国专利 :CN307706673S ,2022-12-02
[2]
一种磁控溅射真空镀膜机 [P]. 
谢学东 ;
谢辉东 .
中国专利 :CN214327869U ,2021-10-01
[3]
一种磁控溅射真空镀膜机 [P]. 
宋泳东 .
中国专利 :CN210916237U ,2020-07-03
[4]
一种单室磁控溅射真空镀膜机 [P]. 
黄成日 ;
池连花 ;
张坡 .
中国专利 :CN214830638U ,2021-11-23
[5]
真空镀膜机磁控溅射靶装置 [P]. 
黄瑞安 .
中国专利 :CN201890921U ,2011-07-06
[6]
磁控溅射真空镀膜机腔体 [P]. 
杜建飞 .
中国专利 :CN309125686S ,2025-02-18
[7]
一种新型磁控溅射真空镀膜机 [P]. 
王涛 ;
李娜 ;
盛永利 ;
郑立冬 ;
张奇 .
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[8]
一种高效磁控溅射真空镀膜机 [P]. 
不公告发明人 .
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[9]
磁控溅射真空镀膜机组 [P]. 
章新良 ;
彭为报 ;
崔介东 ;
龚瑞 .
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[10]
一种磁控溅射真空镀膜机 [P]. 
张勇军 ;
卢成 ;
王伟 ;
魏佳 ;
刘维龙 .
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