一种坩埚可移动的分子束外延用束源炉

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202011315020.X

申请日：

2020-11-20

公开(公告)号：

CN112410871B

公开(公告)日：

2021-02-26

发明(设计)人：

杜鹏龚欣魏唯陈峰武王慧勇肖慧宁澍陈长平

申请人：

申请人地址：

410000 湖南省长沙市高新开发区岳麓西大道1698号麓谷科技创新创业园A1栋1-1023房

IPC主分类号：

C30B2302

IPC分类号：

代理机构：

湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008

代理人：

徐好

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-09-03	授权	授权
2021-03-16	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C30B 23/02 申请日:20201120
2021-02-26	公开	公开

共 50 条

[1]

分子束外延用源炉以及分子束外延设备 [P].

张亚宾 ;

袁敏 ;

王利 ;

魏伟 ;

凌小伦 ;

张珽 .

中国专利 :CN221854738U ,2024-10-18

[2]

一种分子束外延用束源炉及其控制方法 [P].

杨佳霖 ;

刘可为 ;

申德振 ;

朱勇学 ;

陈星 ;

程祯 ;

李炳辉 .

中国专利 :CN118854446A ,2024-10-29

[3]

一种三状态分子束外延用束源炉快门 [P].

杜鹏 ;

龚欣 ;

付宏伟 ;

魏唯 ;

陈峰武 ;

王慧勇 ;

肖慧 ;

宁澍 ;

陈长平 .

中国专利 :CN112746318B ,2021-05-04

[4]

一种分子束外延用蒸发坩埚 [P].

卢灿忠 ;

陈旭林 ;

张孝文 ;

陶晓栋 .

中国专利 :CN216473577U ,2022-05-10

[5]

一种分子束外延汞束源炉金属坩埚 [P].

杨春章 ;

孔金丞 ;

王善力 ;

李艳辉 ;

陈卫业 ;

杨晋 ;

赵丽 ;

姬荣斌 .

中国专利 :CN221052049U ,2024-05-31

[6]

一种MBE分子束外延束源炉 [P].

赵俊华 .

中国专利 :CN206328491U ,2017-07-14

[7]

集成式分子束外延坩埚制作方法、外延坩埚及分子束源炉 [P].

黄星星 ;

吴进 ;

毕诗博 ;

侯少毅 ;

胡强 .

中国专利 :CN115637490A ,2023-01-24

[8]

集成式分子束外延坩埚制作方法、外延坩埚及分子束源炉 [P].

黄星星 ;

吴进 ;

毕诗博 ;

侯少毅 ;

胡强 .

中国专利 :CN115637490B ,2024-11-12

[9]

分子束外延设备的源炉及分子束外延设备 [P].

彭长四 ;

周均铭 ;

倪健 .

中国专利 :CN220867575U ,2024-04-30

[10]

分子束外延设备的源炉及分子束外延设备 [P].

彭长四 ;

周均铭 ;

倪健 .

中国专利 :CN220788877U ,2024-04-16

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