分子束外延用源炉以及分子束外延设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202420273974.6

申请日：

2024-02-04

公开(公告)号：

CN221854738U

公开(公告)日：

2024-10-18

发明(设计)人：

张亚宾袁敏王利魏伟凌小伦张珽

申请人：

中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所

申请人地址：

215123 江苏省苏州市工业园区若水路398号

IPC主分类号：

C23C14/22

IPC分类号：

代理机构：

苏州三英知识产权代理有限公司 32412

代理人：

朱如松

法律状态：

授权

国省代码：

北京市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-10-18	授权	授权

共 50 条

[1]

分子束外延设备的源炉及分子束外延设备 [P].

彭长四 ;

周均铭 ;

倪健 .

中国专利 :CN220788877U ,2024-04-16

[2]

分子束外延设备的源炉及分子束外延设备 [P].

彭长四 ;

周均铭 ;

倪健 .

中国专利 :CN220867575U ,2024-04-30

[3]

一种双快门分子束外延源炉系统及分子束外延设备 [P].

杜鹏 ;

龚欣 ;

付宏伟 ;

魏唯 ;

陈峰武 ;

肖慧 ;

宁澍 ;

陈长平 .

中国专利 :CN113463189A ,2021-10-01

[4]

一种坩埚可移动的分子束外延用束源炉 [P].

杜鹏 ;

龚欣 ;

魏唯 ;

陈峰武 ;

王慧勇 ;

肖慧 ;

宁澍 ;

陈长平 .

中国专利 :CN112410871B ,2021-02-26

[5]

分子束外延设备 [P].

楼厦 ;

薛聪 ;

倪健 .

中国专利 :CN220746138U ,2024-04-09

[6]

裂解源炉和分子束外延设备 [P].

董海云 ;

倪健 ;

薛聪 .

中国专利 :CN218321746U ,2023-01-17

[7]

源炉装置及分子束外延设备 [P].

楼厦 ;

王旭光 ;

董海云 ;

倪健 .

中国专利 :CN221028781U ,2024-05-28

[8]

一种分子束外延用束源炉及其控制方法 [P].

杨佳霖 ;

刘可为 ;

申德振 ;

朱勇学 ;

陈星 ;

程祯 ;

李炳辉 .

中国专利 :CN118854446A ,2024-10-29

[9]

一种三状态分子束外延用束源炉快门 [P].

杜鹏 ;

龚欣 ;

付宏伟 ;

魏唯 ;

陈峰武 ;

王慧勇 ;

肖慧 ;

宁澍 ;

陈长平 .

中国专利 :CN112746318B ,2021-05-04

[10]

一种MBE分子束外延束源炉 [P].

赵俊华 .

中国专利 :CN206328491U ,2017-07-14

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