裂解源炉和分子束外延设备

被引：0

申请号：

CN202222683496.X

申请日：

2022-10-12

公开(公告)号：

CN218321746U

公开(公告)日：

2023-01-17

发明(设计)人：

董海云倪健薛聪

申请人：

申请人地址：

361021 福建省厦门市集美区后溪镇金岭北路159-7号101室

IPC主分类号：

C30B2514

IPC分类号：

C23C16448

代理机构：

华进联合专利商标代理有限公司 44224

代理人：

张捷美

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2023-01-17	授权	授权

共 50 条

[1]

分子束外延用源炉以及分子束外延设备 [P].

张亚宾 ;

袁敏 ;

王利 ;

魏伟 ;

凌小伦 ;

张珽 .

中国专利 :CN221854738U ,2024-10-18

[2]

分子束外延设备的源炉及分子束外延设备 [P].

彭长四 ;

周均铭 ;

倪健 .

中国专利 :CN220867575U ,2024-04-30

[3]

分子束外延设备的源炉及分子束外延设备 [P].

彭长四 ;

周均铭 ;

倪健 .

中国专利 :CN220788877U ,2024-04-16

[4]

源炉装置及分子束外延设备 [P].

楼厦 ;

王旭光 ;

董海云 ;

倪健 .

中国专利 :CN221028781U ,2024-05-28

[5]

优化多源炉分布的方法和分子束外延设备 [P].

彭长四 ;

周均铭 ;

王旭光 ;

倪健 .

中国专利 :CN117385455A ,2024-01-12

[6]

源炉挡板装置及分子束外延设备 [P].

彭长四 ;

周均铭 ;

董海云 ;

倪健 .

中国专利 :CN220867574U ,2024-04-30

[7]

分子束外延设备、可伸缩式源炉及其控制方法 [P].

彭长四 ;

周均铭 ;

王旭光 ;

倪健 .

中国专利 :CN117385451A ,2024-01-12

[8]

一种双快门分子束外延源炉系统及分子束外延设备 [P].

杜鹏 ;

龚欣 ;

付宏伟 ;

魏唯 ;

陈峰武 ;

肖慧 ;

宁澍 ;

陈长平 .

中国专利 :CN113463189A ,2021-10-01

[9]

一种MBE分子束外延束源炉 [P].

赵俊华 .

中国专利 :CN206328491U ,2017-07-14

[10]

坩埚、蒸发源炉和分子束外延设备 [P].

彭长四 ;

周均铭 ;

张培宣 ;

倪健 .

中国专利 :CN221028778U ,2024-05-28

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