一种双快门分子束外延源炉系统及分子束外延设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110683800.8

申请日：

2021-06-21

公开(公告)号：

CN113463189A

公开(公告)日：

2021-10-01

发明(设计)人：

杜鹏龚欣付宏伟魏唯陈峰武肖慧宁澍陈长平

申请人：

申请人地址：

410000 湖南省长沙市高新开发区岳麓西大道1698号麓谷科技创新创业园A1栋1-1023房

IPC主分类号：

C30B2302

IPC分类号：

代理机构：

工业和信息化部电子专利中心 11010

代理人：

焉明涛

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-10-26	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C30B 23/02 申请日:20210621
2021-10-01	公开	公开

共 50 条

[1]

分子束外延用源炉以及分子束外延设备 [P].

张亚宾 ;

袁敏 ;

王利 ;

魏伟 ;

凌小伦 ;

张珽 .

中国专利 :CN221854738U ,2024-10-18

[2]

分子束外延设备的源炉及分子束外延设备 [P].

彭长四 ;

周均铭 ;

倪健 .

中国专利 :CN220867575U ,2024-04-30

[3]

分子束外延设备的源炉及分子束外延设备 [P].

彭长四 ;

周均铭 ;

倪健 .

中国专利 :CN220788877U ,2024-04-16

[4]

一种三状态分子束外延用束源炉快门 [P].

杜鹏 ;

龚欣 ;

付宏伟 ;

魏唯 ;

陈峰武 ;

王慧勇 ;

肖慧 ;

宁澍 ;

陈长平 .

中国专利 :CN112746318B ,2021-05-04

[5]

快门装置及分子束外延设备 [P].

楼厦 ;

倪健 ;

赵金堂 .

中国专利 :CN223660287U ,2025-12-12

[6]

快门装置及分子束外延设备 [P].

楼厦 ;

倪健 ;

赵金堂 .

中国专利 :CN119571449A ,2025-03-07

[7]

源炉装置及分子束外延设备 [P].

楼厦 ;

王旭光 ;

董海云 ;

倪健 .

中国专利 :CN221028781U ,2024-05-28

[8]

一种MBE分子束外延束源炉 [P].

赵俊华 .

中国专利 :CN206328491U ,2017-07-14

[9]

分子束外延设备的样品台及分子束外延设备 [P].

楼厦 ;

倪健 ;

赵金堂 .

中国专利 :CN120425453A ,2025-08-05

[10]

源炉挡板装置及分子束外延设备 [P].

彭长四 ;

周均铭 ;

董海云 ;

倪健 .

中国专利 :CN220867574U ,2024-04-30

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