坩埚、蒸发源炉和分子束外延设备

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202322669300.6
申请日
2023-10-07
公开(公告)号
CN221028778U
公开(公告)日
2024-05-28
发明(设计)人
彭长四 周均铭 张培宣 倪健
申请人
埃特曼(厦门)光电科技有限公司
申请人地址
361000 福建省厦门市集美区后溪镇金岭北路159-7号102室
IPC主分类号
C30B23/06
IPC分类号
C23C14/26
代理机构
苏州锦尚知识产权代理事务所(普通合伙) 32502
代理人
李洋;李丹
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
分子束整流机构、坩埚、蒸发源炉和分子束外延设备 [P]. 
楼厦 ;
薛聪 ;
倪健 .
中国专利 :CN117364232A ,2024-01-09
[2]
集成式分子束外延坩埚制作方法、外延坩埚及分子束源炉 [P]. 
黄星星 ;
吴进 ;
毕诗博 ;
侯少毅 ;
胡强 .
中国专利 :CN115637490A ,2023-01-24
[3]
集成式分子束外延坩埚制作方法、外延坩埚及分子束源炉 [P]. 
黄星星 ;
吴进 ;
毕诗博 ;
侯少毅 ;
胡强 .
中国专利 :CN115637490B ,2024-11-12
[4]
一种分子束外延用蒸发源装置 [P]. 
李年强 ;
卢建臣 ;
蔡金明 .
中国专利 :CN222313379U ,2025-01-07
[5]
一种热裂解蒸发源及分子束外延设备 [P]. 
艾金虎 .
中国专利 :CN221778028U ,2024-09-27
[6]
一种分子束外延用蒸发坩埚 [P]. 
卢灿忠 ;
陈旭林 ;
张孝文 ;
陶晓栋 .
中国专利 :CN216473577U ,2022-05-10
[7]
分子束外延设备的源炉及分子束外延设备 [P]. 
彭长四 ;
周均铭 ;
倪健 .
中国专利 :CN220867575U ,2024-04-30
[8]
分子束外延设备的源炉及分子束外延设备 [P]. 
彭长四 ;
周均铭 ;
倪健 .
中国专利 :CN220788877U ,2024-04-16
[9]
分子束外延用源炉以及分子束外延设备 [P]. 
张亚宾 ;
袁敏 ;
王利 ;
魏伟 ;
凌小伦 ;
张珽 .
中国专利 :CN221854738U ,2024-10-18
[10]
裂解源炉和分子束外延设备 [P]. 
董海云 ;
倪健 ;
薛聪 .
中国专利 :CN218321746U ,2023-01-17