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坩埚、蒸发源炉和分子束外延设备
被引:0
专利类型
:
实用新型
申请号
:
CN202322669300.6
申请日
:
2023-10-07
公开(公告)号
:
CN221028778U
公开(公告)日
:
2024-05-28
发明(设计)人
:
彭长四
周均铭
张培宣
倪健
申请人
:
埃特曼(厦门)光电科技有限公司
申请人地址
:
361000 福建省厦门市集美区后溪镇金岭北路159-7号102室
IPC主分类号
:
C30B23/06
IPC分类号
:
C23C14/26
代理机构
:
苏州锦尚知识产权代理事务所(普通合伙) 32502
代理人
:
李洋;李丹
法律状态
:
授权
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2024-05-28
授权
授权
共 50 条
[1]
分子束整流机构、坩埚、蒸发源炉和分子束外延设备
[P].
楼厦
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机构:
埃特曼半导体技术有限公司
埃特曼半导体技术有限公司
楼厦
;
薛聪
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机构:
埃特曼半导体技术有限公司
埃特曼半导体技术有限公司
薛聪
;
倪健
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机构:
埃特曼半导体技术有限公司
埃特曼半导体技术有限公司
倪健
.
中国专利
:CN117364232A
,2024-01-09
[2]
集成式分子束外延坩埚制作方法、外延坩埚及分子束源炉
[P].
黄星星
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黄星星
;
吴进
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吴进
;
毕诗博
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毕诗博
;
侯少毅
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侯少毅
;
胡强
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胡强
.
中国专利
:CN115637490A
,2023-01-24
[3]
集成式分子束外延坩埚制作方法、外延坩埚及分子束源炉
[P].
黄星星
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机构:
季华实验室
季华实验室
黄星星
;
吴进
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机构:
季华实验室
季华实验室
吴进
;
毕诗博
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季华实验室
季华实验室
毕诗博
;
侯少毅
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季华实验室
季华实验室
侯少毅
;
胡强
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机构:
季华实验室
季华实验室
胡强
.
中国专利
:CN115637490B
,2024-11-12
[4]
一种分子束外延用蒸发源装置
[P].
李年强
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机构:
昆明理工大学
昆明理工大学
李年强
;
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机构:
卢建臣
;
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机构:
蔡金明
.
中国专利
:CN222313379U
,2025-01-07
[5]
一种热裂解蒸发源及分子束外延设备
[P].
艾金虎
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机构:
埃频(上海)仪器科技有限公司
埃频(上海)仪器科技有限公司
艾金虎
.
中国专利
:CN221778028U
,2024-09-27
[6]
一种分子束外延用蒸发坩埚
[P].
卢灿忠
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卢灿忠
;
陈旭林
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陈旭林
;
张孝文
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张孝文
;
陶晓栋
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陶晓栋
.
中国专利
:CN216473577U
,2022-05-10
[7]
分子束外延设备的源炉及分子束外延设备
[P].
彭长四
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机构:
埃特曼(厦门)光电科技有限公司
埃特曼(厦门)光电科技有限公司
彭长四
;
周均铭
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埃特曼(厦门)光电科技有限公司
埃特曼(厦门)光电科技有限公司
周均铭
;
倪健
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机构:
埃特曼(厦门)光电科技有限公司
埃特曼(厦门)光电科技有限公司
倪健
.
中国专利
:CN220867575U
,2024-04-30
[8]
分子束外延设备的源炉及分子束外延设备
[P].
彭长四
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机构:
埃特曼(厦门)光电科技有限公司
埃特曼(厦门)光电科技有限公司
彭长四
;
周均铭
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机构:
埃特曼(厦门)光电科技有限公司
埃特曼(厦门)光电科技有限公司
周均铭
;
倪健
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机构:
埃特曼(厦门)光电科技有限公司
埃特曼(厦门)光电科技有限公司
倪健
.
中国专利
:CN220788877U
,2024-04-16
[9]
分子束外延用源炉以及分子束外延设备
[P].
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机构:
张亚宾
;
袁敏
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机构:
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
袁敏
;
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机构:
王利
;
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机构:
魏伟
;
凌小伦
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机构:
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
凌小伦
;
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机构:
张珽
.
中国专利
:CN221854738U
,2024-10-18
[10]
裂解源炉和分子束外延设备
[P].
董海云
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董海云
;
倪健
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倪健
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薛聪
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薛聪
.
中国专利
:CN218321746U
,2023-01-17
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