一种热裂解蒸发源及分子束外延设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202420334357.2

申请日：

2024-02-22

公开(公告)号：

CN221778028U

公开(公告)日：

2024-09-27

发明(设计)人：

艾金虎

申请人：

埃频（上海）仪器科技有限公司

申请人地址：

201415 上海市奉贤区钜庭路998号1号楼

IPC主分类号：

C30B25/14

IPC分类号：

C30B25/16

代理机构：

上海智晟知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31313

代理人：

李镝的

法律状态：

授权

国省代码：

上海市市辖区

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-09-27	授权	授权

共 50 条

[1]

分子束整流机构、坩埚、蒸发源炉和分子束外延设备 [P].

楼厦 ;

薛聪 ;

倪健 .

中国专利 :CN117364232A ,2024-01-09

[2]

坩埚、蒸发源炉和分子束外延设备 [P].

彭长四 ;

周均铭 ;

张培宣 ;

倪健 .

中国专利 :CN221028778U ,2024-05-28

[3]

一种分子束外延用蒸发源装置 [P].

李年强 ;

卢建臣 ;

蔡金明 .

中国专利 :CN222313379U ,2025-01-07

[4]

一种新型超高温分子束外延用蒸发源 [P].

谢斌平 ;

刘鑫 ;

张德雨 ;

王帅 .

中国专利 :CN209493652U ,2019-10-15

[5]

一种分子束外延用蒸发坩埚 [P].

卢灿忠 ;

陈旭林 ;

张孝文 ;

陶晓栋 .

中国专利 :CN216473577U ,2022-05-10

[6]

一种超高温分子束外延用蒸发源 [P].

谢斌平 ;

刘鑫 ;

张德雨 ;

王帅 .

中国专利 :CN109440187B ,2024-09-17

[7]

一种分子束外延设备 [P].

刘可为 ;

陈星 ;

申德振 ;

杨佳霖 ;

程祯 ;

朱勇学 ;

李炳辉 .

中国专利 :CN120119325A ,2025-06-10

[8]

裂解源炉和分子束外延设备 [P].

董海云 ;

倪健 ;

薛聪 .

中国专利 :CN218321746U ,2023-01-17

[9]

分子束外延设备及分子束外延设备的控制方法 [P].

彭长四 ;

周均铭 ;

杨晓楠 ;

倪健 .

中国专利 :CN117403323A ,2024-01-16

[10]

一种新型超高温分子束外延用蒸发源 [P].

谢斌平 ;

刘鑫 ;

张德雨 ;

王帅 .

中国专利 :CN109440187A ,2019-03-08

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