一种超高温分子束外延用蒸发源

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811645189.4

申请日：

2018-12-29

公开(公告)号：

CN109440187B

公开(公告)日：

2024-09-17

发明(设计)人：

谢斌平刘鑫张德雨王帅

申请人：

费勉仪器科技（上海）有限公司

申请人地址：

201906 上海市宝山区顾村工业园区富联二路189号4幢

IPC主分类号：

C30B25/02

IPC分类号：

代理机构：

南京瑞华腾知识产权代理事务所(普通合伙) 32368

代理人：

邱欢欢

法律状态：

授权

国省代码：

黑龙江省哈尔滨市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-09-17	授权	授权

共 50 条

[1]

一种新型超高温分子束外延用蒸发源 [P].

谢斌平 ;

刘鑫 ;

张德雨 ;

王帅 .

中国专利 :CN109440187A ,2019-03-08

[2]

一种新型超高温分子束外延用蒸发源 [P].

谢斌平 ;

刘鑫 ;

张德雨 ;

王帅 .

中国专利 :CN209493652U ,2019-10-15

[3]

一种分子束外延用蒸发源装置 [P].

李年强 ;

卢建臣 ;

蔡金明 .

中国专利 :CN222313379U ,2025-01-07

[4]

一种适用于分子束外延系统的超高温蒸发源装置 [P].

程厚义 ;

汪建荣 ;

李玉婷 .

中国专利 :CN223134547U ,2025-07-22

[5]

一种分子束外延用蒸发坩埚 [P].

卢灿忠 ;

陈旭林 ;

张孝文 ;

陶晓栋 .

中国专利 :CN216473577U ,2022-05-10

[6]

坩埚、蒸发源炉和分子束外延设备 [P].

彭长四 ;

周均铭 ;

张培宣 ;

倪健 .

中国专利 :CN221028778U ,2024-05-28

[7]

分子束外延用源炉以及分子束外延设备 [P].

张亚宾 ;

袁敏 ;

王利 ;

魏伟 ;

凌小伦 ;

张珽 .

中国专利 :CN221854738U ,2024-10-18

[8]

一种热裂解蒸发源及分子束外延设备 [P].

艾金虎 .

中国专利 :CN221778028U ,2024-09-27

[9]

分子束整流机构、坩埚、蒸发源炉和分子束外延设备 [P].

楼厦 ;

薛聪 ;

倪健 .

中国专利 :CN117364232A ,2024-01-09

[10]

超高真空分子束外延蒸发装置 [P].

张海霞 ;

傅明晟 ;

曾德丽 ;

及刚 .

中国专利 :CN204727990U ,2015-10-28

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