集成式分子束外延坩埚制作方法、外延坩埚及分子束源炉

被引：0

申请号：

CN202211378289.1

申请日：

2022-11-04

公开(公告)号：

CN115637490A

公开(公告)日：

2023-01-24

发明(设计)人：

黄星星吴进毕诗博侯少毅胡强

申请人：

申请人地址：

528200 广东省佛山市南海区桂城街道环岛南路28号

IPC主分类号：

C30B2302

IPC分类号：

C30B2306 C23C1426 C30B2940 C30B2522

代理机构：

佛山市海融科创知识产权代理事务所(普通合伙) 44377

代理人：

陈椅行

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2023-02-14	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C30B 23/02 申请日:20221104
2023-01-24	公开	公开

共 50 条

[1]

集成式分子束外延坩埚制作方法、外延坩埚及分子束源炉 [P].

黄星星 ;

吴进 ;

毕诗博 ;

侯少毅 ;

胡强 .

中国专利 :CN115637490B ,2024-11-12

[2]

坩埚及分子束外延系统 [P].

高达 ;

王丹 ;

李震 ;

王丛 ;

王经纬 ;

刘铭 .

中国专利 :CN113774477A ,2021-12-10

[3]

一种分子束外延汞束源炉金属坩埚 [P].

杨春章 ;

孔金丞 ;

王善力 ;

李艳辉 ;

陈卫业 ;

杨晋 ;

赵丽 ;

姬荣斌 .

中国专利 :CN221052049U ,2024-05-31

[4]

坩埚、蒸发源炉和分子束外延设备 [P].

彭长四 ;

周均铭 ;

张培宣 ;

倪健 .

中国专利 :CN221028778U ,2024-05-28

[5]

分子束外延设备的源炉及分子束外延设备 [P].

彭长四 ;

周均铭 ;

倪健 .

中国专利 :CN220867575U ,2024-04-30

[6]

分子束外延设备的源炉及分子束外延设备 [P].

彭长四 ;

周均铭 ;

倪健 .

中国专利 :CN220788877U ,2024-04-16

[7]

分子束外延用源炉以及分子束外延设备 [P].

张亚宾 ;

袁敏 ;

王利 ;

魏伟 ;

凌小伦 ;

张珽 .

中国专利 :CN221854738U ,2024-10-18

[8]

分子束整流机构、坩埚、蒸发源炉和分子束外延设备 [P].

楼厦 ;

薛聪 ;

倪健 .

中国专利 :CN117364232A ,2024-01-09

[9]

一种MBE分子束外延束源炉 [P].

赵俊华 .

中国专利 :CN206328491U ,2017-07-14

[10]

一种坩埚可移动的分子束外延用束源炉 [P].

杜鹏 ;

龚欣 ;

魏唯 ;

陈峰武 ;

王慧勇 ;

肖慧 ;

宁澍 ;

陈长平 .

中国专利 :CN112410871B ,2021-02-26

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