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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2017-11-14 | 授权 | 授权 |
| 2014-09-17 | 公开 | 公开 |
| 2019-06-25 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 IPC(主分类):G03F 7/42 登记生效日:20190605 变更事项:专利权人 变更前权利人:青岛华仁技术孵化器有限公司 变更后权利人:南通卓力达金属科技有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:266071 山东省青岛市市南区香港中路32号五矿大厦801-A室 变更后权利人:226000 江苏省南通市高新技术产业开发区金川路268号 |
| 2014-11-26 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101589117451 IPC(主分类):G03F 7/42 专利申请号:2014102396253 申请日:20140530 |