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压电薄膜体声波谐振器及其制备方法
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN202111045283.8
申请日
:
2021-09-07
公开(公告)号
:
CN113708740A
公开(公告)日
:
2021-11-26
发明(设计)人
:
朱宇波
李卫民
母志强
吴挺俊
朱雷
俞文杰
申请人
:
申请人地址
:
201800 上海市嘉定区兴贤路1180号1幢3层301室
IPC主分类号
:
H03H917
IPC分类号
:
H03H902
H03H302
代理机构
:
上海光华专利事务所(普通合伙) 31219
代理人
:
卢炳琼
法律状态
:
实质审查的生效
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2021-12-14
实质审查的生效
实质审查的生效 IPC(主分类):H03H 9/17 申请日:20210907
2021-11-26
公开
公开
共 50 条
[1]
压电薄膜体声波谐振器及其制备方法
[P].
朱宇波
论文数:
0
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机构:
上海集成电路材料研究院有限公司
上海集成电路材料研究院有限公司
朱宇波
;
李卫民
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机构:
上海集成电路材料研究院有限公司
上海集成电路材料研究院有限公司
李卫民
;
母志强
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机构:
上海集成电路材料研究院有限公司
上海集成电路材料研究院有限公司
母志强
;
吴挺俊
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机构:
上海集成电路材料研究院有限公司
上海集成电路材料研究院有限公司
吴挺俊
;
朱雷
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机构:
上海集成电路材料研究院有限公司
上海集成电路材料研究院有限公司
朱雷
;
俞文杰
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机构:
上海集成电路材料研究院有限公司
上海集成电路材料研究院有限公司
俞文杰
.
中国专利
:CN113708740B
,2024-04-26
[2]
薄膜体声波谐振器及其制备方法
[P].
牛玉娇
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牛玉娇
;
张树民
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张树民
.
中国专利
:CN114696767A
,2022-07-01
[3]
薄膜体声波谐振器及其制备方法
[P].
曲远航
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曲远航
;
孙成亮
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孙成亮
;
孙博文
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孙博文
;
蔡耀
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蔡耀
;
邹杨
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邹杨
;
高超
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高超
;
罗天成
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罗天成
;
王雅馨
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王雅馨
.
中国专利
:CN115412042A
,2022-11-29
[4]
薄膜体声波谐振器及其制备方法
[P].
李国强
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李国强
.
中国专利
:CN111628744A
,2020-09-04
[5]
薄膜体声波谐振器及其制备方法
[P].
张树民
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张树民
;
王国浩
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王国浩
;
陈海龙
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陈海龙
.
中国专利
:CN107196618A
,2017-09-22
[6]
一种压电薄膜体声波谐振器及其制备方法
[P].
张睿
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张睿
;
钟慧
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钟慧
;
成英楠
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成英楠
;
石玉
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石玉
;
焦向全
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焦向全
;
杨杰
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杨杰
;
赵宝林
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赵宝林
;
何泽涛
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何泽涛
.
中国专利
:CN103873010B
,2014-06-18
[7]
薄膜体声波谐振器及其制备工艺
[P].
杨伟欣
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机构:
左蓝微(江苏)电子技术有限公司
左蓝微(江苏)电子技术有限公司
杨伟欣
;
宋磊
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机构:
左蓝微(江苏)电子技术有限公司
左蓝微(江苏)电子技术有限公司
宋磊
;
张志民
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机构:
左蓝微(江苏)电子技术有限公司
左蓝微(江苏)电子技术有限公司
张志民
.
中国专利
:CN114978083B
,2025-05-27
[8]
硅基压电薄膜体声波谐振器
[P].
高安明
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高安明
;
姜伟
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姜伟
;
刘伟
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刘伟
.
中国专利
:CN213879775U
,2021-08-03
[9]
薄膜体声波谐振器及其制备方法
[P].
周杰
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机构:
武汉敏声新技术有限公司
武汉敏声新技术有限公司
周杰
;
代金豪
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机构:
武汉敏声新技术有限公司
武汉敏声新技术有限公司
代金豪
;
邹杨
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机构:
武汉敏声新技术有限公司
武汉敏声新技术有限公司
邹杨
;
蔡耀
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机构:
武汉敏声新技术有限公司
武汉敏声新技术有限公司
蔡耀
;
孙成亮
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机构:
武汉敏声新技术有限公司
武汉敏声新技术有限公司
孙成亮
;
王世杰
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机构:
武汉敏声新技术有限公司
武汉敏声新技术有限公司
王世杰
.
中国专利
:CN119298868A
,2025-01-10
[10]
薄膜体声波谐振器及其制备方法
[P].
张树民
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张树民
;
王国浩
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王国浩
;
汪泉
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汪泉
.
中国专利
:CN110289824A
,2019-09-27
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