极紫外光刻掩模缺陷检测系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210156651.0

申请日：

2012-05-18

公开(公告)号：

CN103424985A

公开(公告)日：

2013-12-04

发明(设计)人：

李海亮谢常青刘明李冬梅牛洁斌史丽娜朱效立王子欧

申请人：

申请人地址：

100083 北京市朝阳区北土城西路3号

IPC主分类号：

G03F184

IPC分类号：

G03F122

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

周国城

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-12-25	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101558127639 IPC(主分类):G03F 1/84 专利申请号:2012101566510 申请日:20120518
2013-12-04	公开	公开
2016-03-23	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1602 IPC(主分类):G03F 1/84 专利申请号:2012101566510 申请公布日:20131204 号牌文件序号:101729904681

共 50 条

[1]

极紫外光刻掩模缺陷检测系统 [P].

李海亮 ;

谢常青 ;

刘明 ;

李冬梅 ;

牛洁斌 ;

史丽娜 ;

朱效立 .

中国专利 :CN103365073B ,2013-10-23

[2]

极紫外光刻掩模白板缺陷检测系统真空腔 [P].

龚文涛 ;

金春水 ;

周名相 ;

肖相辅 ;

李旭鹏 .

中国专利 :CN118258758A ,2024-06-28

[3]

极紫外光刻掩模 [P].

N·佩伦斯 ;

V·菲利普森 .

:CN119987118A ,2025-05-13

[4]

极紫外光刻掩模缺陷的补偿方法 [P].

宋晓伟 ;

张瀚之 ;

林景全 ;

李博超 .

中国专利 :CN118050953A ,2024-05-17

[5]

极紫外光刻掩模多层膜相位型缺陷检测方法 [P].

成维 ;

李思坤 ;

王向朝 ;

张子南 .

中国专利 :CN110297401B ,2019-10-01

[6]

极紫外光刻厚掩模缺陷的快速仿真方法 [P].

刘晓雷 ;

李思坤 ;

王向朝 ;

步扬 .

中国专利 :CN103197503A ,2013-07-10

[7]

极紫外光刻系统 [P].

陈思妤 ;

郑博中 ;

陈立锐 ;

许哲彰 ;

杨基 .

中国专利 :CN112305870A ,2021-02-02

[8]

一种光子筛设计方法及基于光子筛的极紫外光刻掩模缺陷检测系统与方法 [P].

刘子轩 ;

李思坤 .

中国专利 :CN120315174A ,2025-07-15

[9]

用于极紫外光刻的相移掩模 [P].

金成洙 ;

金东完 ;

徐焕锡 .

韩国专利 :CN113534598B ,2025-03-25

[10]

用于极紫外光刻的相移掩模 [P].

金成洙 ;

金东完 ;

徐焕锡 .

中国专利 :CN113534598A ,2021-10-22

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