极紫外光刻掩模缺陷的补偿方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410368567.8

申请日：

2024-03-28

公开(公告)号：

CN118050953A

公开(公告)日：

2024-05-17

发明(设计)人：

宋晓伟张瀚之林景全李博超

申请人：

长春理工大学

申请人地址：

130022 吉林省长春市卫星路7089号

IPC主分类号：

G03F1/84

IPC分类号：

G03F1/22

代理机构：

长春中科长光知识产权代理事务所(普通合伙) 22218

代理人：

张羽

法律状态：

公开

国省代码：

吉林省长春市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-05-17	公开	公开
2024-06-04	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G03F 1/84申请日:20240328

共 50 条

[1]

极紫外光刻掩模缺陷检测系统 [P].

李海亮 ;

谢常青 ;

刘明 ;

李冬梅 ;

牛洁斌 ;

史丽娜 ;

朱效立 .

中国专利 :CN103365073B ,2013-10-23

[2]

极紫外光刻掩模 [P].

N·佩伦斯 ;

V·菲利普森 .

:CN119987118A ,2025-05-13

[3]

极紫外光刻掩模缺陷检测系统 [P].

李海亮 ;

谢常青 ;

刘明 ;

李冬梅 ;

牛洁斌 ;

史丽娜 ;

朱效立 ;

王子欧 .

中国专利 :CN103424985A ,2013-12-04

[4]

极紫外光刻掩模阴影效应补偿方法 [P].

张子南 ;

李思坤 ;

王向朝 ;

成维 .

中国专利 :CN111045289A ,2020-04-21

[5]

极紫外光刻厚掩模缺陷的快速仿真方法 [P].

刘晓雷 ;

李思坤 ;

王向朝 ;

步扬 .

中国专利 :CN103197503A ,2013-07-10

[6]

用于极紫外光刻的掩模拼接 [P].

R·M·伊瓦诺 ;

Z·A·莱文森 ;

K·D·卢卡斯 ;

J·E·伯多夫 .

美国专利 :CN120161666A ,2025-06-17

[7]

极紫外光刻掩模白板缺陷检测系统真空腔 [P].

龚文涛 ;

金春水 ;

周名相 ;

肖相辅 ;

李旭鹏 .

中国专利 :CN118258758A ,2024-06-28

[8]

极紫外光刻光源掩模优化方法 [P].

张子南 ;

李思坤 ;

王向朝 ;

成维 ;

胡少博 ;

刘珍 .

中国专利 :CN112394615B ,2024-02-09

[9]

极紫外光刻光源掩模优化方法 [P].

张子南 ;

李思坤 ;

王向朝 ;

成维 ;

胡少博 ;

刘珍 .

中国专利 :CN112394615A ,2021-02-23

[10]

极紫外光刻掩模及其制造方法 [P].

郑文豪 .

中国专利 :CN113050360A ,2021-06-29

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