一种增加石英片表面刻蚀粗糙度的方法

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专利类型
发明
申请号
CN201310198743.X
申请日
2013-05-24
公开(公告)号
CN104176943A
公开(公告)日
2014-12-03
发明(设计)人
谢常青 付杰 朱效立 李海亮 刘明
申请人
申请人地址
100083 北京市朝阳区北土城西路3号
IPC主分类号
C03C1500
IPC分类号
代理机构
中科专利商标代理有限责任公司 11021
代理人
任岩
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
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