微机械硅谐振式气体流速传感器

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200610112937.3

申请日：

2006-09-13

公开(公告)号：

CN101144827A

公开(公告)日：

2008-03-19

发明(设计)人：

陈德勇陈健

申请人：

申请人地址：

100080北京市海淀区北四环西路19号

IPC主分类号：

G01P508

IPC分类号：

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司

代理人：

周国城

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2010-01-27	授权	授权
2008-03-19	公开	公开
2008-05-14	实质审查的生效	实质审查的生效
2014-11-05	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101588052963 IPC(主分类):G01P 5/08 专利号:ZL2006101129373 申请日:20060913 授权公告日:20100127 终止日期:20130913

共 50 条

[1]

微机械硅谐振梁加速度计 [P].

孙宗贤 ;

彭一书 .

中国专利 :CN106706958A ,2017-05-24

[2]

微机械硅谐振梁加速度计 [P].

陈德勇 ;

陈健 ;

王军波 .

中国专利 :CN100447571C ,2007-06-13

[3]

气体流速传感器 [P].

吴立锋 ;

彭珍 ;

关永 .

中国专利 :CN106066406B ,2016-11-02

[4]

具有辅助敏感单元的谐振式硅微机械传感器 [P].

樊尚春 ;

邢维巍 ;

蔡晨光 ;

庄海涵 .

中国专利 :CN1987364A ,2007-06-27

[5]

硅微机械倾角传感器 [P].

孔德义 ;

梅涛 ;

张涛 ;

倪林 ;

孙斐 ;

陶永春 .

中国专利 :CN2630796Y ,2004-08-04

[6]

一种“中”字形谐振式硅微机械压力传感器 [P].

樊尚春 ;

郭占社 .

中国专利 :CN100465088C ,2007-06-27

[7]

一种硅微机械谐振压力传感器 [P].

方道德 .

中国专利 :CN205607566U ,2016-09-28

[8]

基于微机械技术的电容非热式流速传感器 [P].

秦明 ;

魏泽文 ;

黄庆安 .

中国专利 :CN100403032C ,2006-10-25

[9]

电容式硅微机械雨量传感器 [P].

顾兴莲 ;

秦明 ;

余辉洋 .

中国专利 :CN101509788A ,2009-08-19

[10]

谐振式热式流量/流速传感器 [P].

陈忻 ;

陈悝 ;

陈怡 ;

陈慈 .

中国专利 :CN2380908Y ,2000-05-31

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