一种镁掺杂氧化锌磁控溅射靶材及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202011549209.5

申请日：

2020-12-24

公开(公告)号：

CN112725752A

公开(公告)日：

2021-04-30

发明(设计)人：

杨晔程奕兰品军宋伟杰朱永明

申请人：

申请人地址：

315172 浙江省宁波市海曙区望春工业园区科欣路317号

IPC主分类号：

C23C1435

IPC分类号：

C23C1408

代理机构：

杭州天勤知识产权代理有限公司 33224

代理人：

胡红娟

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-05-21	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/35 申请日:20201224
2021-04-30	公开	公开

共 50 条

[1]

一种氧化锌镓磁控溅射靶材的制备方法 [P].

刘艺 ;

张训龙 ;

张锦 .

中国专利 :CN113637941A ,2021-11-12

[2]

一种氧化锌基溅射靶材及其制备方法与应用 [P].

方宏 ;

冯海权 ;

吕建钢 ;

黎琦 ;

蒙心钰 .

中国专利 :CN119306489A ,2025-01-14

[3]

一种氧化锌基溅射靶材的制备方法 [P].

杨晔 ;

宋伟杰 ;

张宇龙 ;

魏铁锋 ;

张贤鹏 ;

谭瑞琴 .

中国专利 :CN101845614B ,2010-09-29

[4]

一种镓镁掺杂的氧化锌靶材及其制备方法 [P].

余芳 ;

童培云 ;

朱刘 .

中国专利 :CN119191833A ,2024-12-27

[5]

一种磁控溅射靶材、磁控溅射靶及磁控溅射设备 [P].

魏钰 ;

宋博韬 ;

成军 ;

刘宁 .

中国专利 :CN205934012U ,2017-02-08

[6]

一种掺杂氧化锌致密靶材及其制备方法 [P].

蔡沐之 ;

乔昂 ;

闫卫卫 ;

陈冠明 .

中国专利 :CN119822810A ,2025-04-15

[7]

一种磁控溅射靶材组件及其制备方法 [P].

任丽 ;

朱刘 ;

宋世金 .

中国专利 :CN111172505A ,2020-05-19

[8]

一种CoFeTa磁控溅射靶材及其制备方法 [P].

张凤戈 ;

李建奎 ;

魏铁峰 ;

张学华 ;

姚伟 .

中国专利 :CN118773561A ,2024-10-15

[9]

一种氧化锌镁靶材及其制备方法 [P].

余芳 ;

童培云 ;

朱刘 .

中国专利 :CN119191834A ,2024-12-27

[10]

一种氧化锌基陶瓷溅射靶材的制备方法 [P].

丁宝文 .

中国专利 :CN112094118A ,2020-12-18

← 1 2 3 4 5 →