一种镓镁掺杂的氧化锌靶材及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411291248.8

申请日：

2024-09-14

公开(公告)号：

CN119191833A

公开(公告)日：

2024-12-27

发明(设计)人：

余芳童培云朱刘

申请人：

先导薄膜材料（广东）有限公司

申请人地址：

511517 广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号A区

IPC主分类号：

C04B35/453

IPC分类号：

C04B35/622 C23C14/34

代理机构：

清远市诺誉知识产权代理事务所(普通合伙) 44815

代理人：

黄迅

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

江苏省常州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-01-14	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C04B 35/453申请日:20240914
2024-12-27	公开	公开

共 50 条

[1]

一种氧化锌靶材及其制备方法 [P].

李开杰 ;

王奇峰 ;

罗斯诗 ;

顾德盛 ;

张兴宇 .

中国专利 :CN118930247A ,2024-11-12

[2]

一种氧化锌镁靶材及其制备方法 [P].

余芳 ;

童培云 ;

朱刘 .

中国专利 :CN119191834A ,2024-12-27

[3]

掺镓氧化锌靶材及其制备方法 [P].

刘成龙 ;

顾德盛 ;

李开杰 ;

王奇峰 ;

张兴宇 .

中国专利 :CN118908719A ,2024-11-08

[4]

一种镓酸锌靶材的制备方法和镓酸锌靶材 [P].

韩冬阳 ;

张文瑞 ;

胡束东 ;

刘凯森 ;

叶继春 .

中国专利 :CN117645472A ,2024-03-05

[5]

镓掺杂氧化锌靶材及其透明导电膜的制备方法 [P].

曹永革 ;

黄常刚 ;

王美丽 ;

邓种华 .

中国专利 :CN102191466A ,2011-09-21

[6]

一种镁掺杂氧化锌磁控溅射靶材及其制备方法 [P].

杨晔 ;

程奕 ;

兰品军 ;

宋伟杰 ;

朱永明 .

中国专利 :CN112725752A ,2021-04-30

[7]

一种镓和锆共掺杂氧化锌靶材的制备方法 [P].

姚远 ;

张莉兰 ;

张启华 ;

黄誓成 ;

陆映东 ;

朱勇昌 .

中国专利 :CN119241226B ,2025-04-25

[8]

一种铝掺杂氧化锌靶材及其制备方法 [P].

童义平 .

中国专利 :CN103435339B ,2013-12-11

[9]

一种镓和锆共掺杂氧化锌靶材的制备方法 [P].

姚远 ;

张莉兰 ;

张启华 ;

黄誓成 ;

陆映东 ;

朱勇昌 .

中国专利 :CN119241226A ,2025-01-03

[10]

相组成可控的氧化铟镓锌靶材及其制备方法 [P].

陈杰 ;

齐超 ;

孙本双 ;

舒永春 ;

曾学云 ;

何季麟 .

中国专利 :CN109665834A ,2019-04-23

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