相组成可控的氧化铟镓锌靶材及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910156692.1

申请日：

2019-03-01

公开(公告)号：

CN109665834A

公开(公告)日：

2019-04-23

发明(设计)人：

陈杰齐超孙本双舒永春曾学云何季麟

申请人：

申请人地址：

450001 河南省郑州市高新技术开发区科学大道100号

IPC主分类号：

C04B35457

IPC分类号：

C04B35622

代理机构：

北京卫智畅科专利代理事务所(普通合伙) 11557

代理人：

朱春野

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-04-23	公开	公开
2019-05-17	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C04B 35/457 申请日:20190301
2021-08-03	授权	授权

共 50 条

[1]

一种氧化铟镓锌靶材的制备方法 [P].

左宁伟 ;

杨杰 .

中国专利 :CN115504768A ,2022-12-23

[2]

一种氧化铟镓锌靶材的制备方法 [P].

张来稳 ;

邵学亮 ;

李开杰 ;

朱刘 .

中国专利 :CN112341159A ,2021-02-09

[3]

一种氧化铟镓锌管状靶材的短流程制备方法 [P].

孙本双 ;

何季麟 ;

舒永春 ;

曾学云 ;

陈杰 ;

李庆奎 .

中国专利 :CN108706965A ,2018-10-26

[4]

一种氧化铟镓锌靶材及其制备方法和应用 [P].

袁润 ;

高洋 ;

李强 ;

葛春桥 .

中国专利 :CN120794607A ,2025-10-17

[5]

一种氧化铟锌靶材及其制备方法 [P].

顾德盛 ;

邵学亮 ;

王奇峰 .

中国专利 :CN116162908B ,2024-08-30

[6]

一种镓酸锌靶材的制备方法和镓酸锌靶材 [P].

韩冬阳 ;

张文瑞 ;

胡束东 ;

刘凯森 ;

叶继春 .

中国专利 :CN117645472A ,2024-03-05

[7]

一种镓镁掺杂的氧化锌靶材及其制备方法 [P].

余芳 ;

童培云 ;

朱刘 .

中国专利 :CN119191833A ,2024-12-27

[8]

一种氧化铟锌蒸镀靶材及其制备方法 [P].

顾德盛 ;

邵学亮 ;

李开杰 ;

罗斯诗 ;

张兴宇 .

中国专利 :CN117049870B ,2025-07-25

[9]

掺镓氧化锌靶材及其制备方法 [P].

刘成龙 ;

顾德盛 ;

李开杰 ;

王奇峰 ;

张兴宇 .

中国专利 :CN118908719A ,2024-11-08

[10]

一种钡掺杂氧化铟锡锌靶材及其制备方法 [P].

熊浩 ;

李开杰 ;

王奇峰 ;

张高祥 .

中国专利 :CN118930226A ,2024-11-12

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