一种氧化铟镓锌靶材及其制备方法和应用

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510830887.5

申请日：

2025-06-20

公开(公告)号：

CN120794607A

公开(公告)日：

2025-10-17

发明(设计)人：

袁润高洋李强葛春桥

申请人：

中山智隆新材料科技有限公司

申请人地址：

528400 广东省中山市板芙镇智能制造装备产业园智润路2号(住所申报)

IPC主分类号：

C04B35/453

IPC分类号：

C04B35/01 C04B35/622 C23C14/08

代理机构：

广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205

代理人：

尚云

法律状态：

公开

国省代码：

广东省中山市

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-10-17	公开	公开
2025-11-04	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C04B 35/453申请日:20250620

共 50 条

[1]

一种氧化铟镓锌靶材的制备方法 [P].

左宁伟 ;

杨杰 .

中国专利 :CN115504768A ,2022-12-23

[2]

一种氧化铟镓锌靶材的制备方法 [P].

张来稳 ;

邵学亮 ;

李开杰 ;

朱刘 .

中国专利 :CN112341159A ,2021-02-09

[3]

一种氧化铟镓钛靶材及其制备方法和应用 [P].

王靓栎 ;

葛春桥 ;

陈露 ;

李强 ;

罗泽宇 .

中国专利 :CN119306475A ,2025-01-14

[4]

相组成可控的氧化铟镓锌靶材及其制备方法 [P].

陈杰 ;

齐超 ;

孙本双 ;

舒永春 ;

曾学云 ;

何季麟 .

中国专利 :CN109665834A ,2019-04-23

[5]

一种锌镓氧化物陶瓷靶材及其制备方法和应用 [P].

庄大明 ;

张弓 ;

方玲 ;

侯亚奇 ;

杨波 ;

赵方红 .

中国专利 :CN1413947A ,2003-04-30

[6]

一种氧化铟镓锌管状靶材的短流程制备方法 [P].

孙本双 ;

何季麟 ;

舒永春 ;

曾学云 ;

陈杰 ;

李庆奎 .

中国专利 :CN108706965A ,2018-10-26

[7]

一种镓酸锌靶材的制备方法和镓酸锌靶材 [P].

韩冬阳 ;

张文瑞 ;

胡束东 ;

刘凯森 ;

叶继春 .

中国专利 :CN117645472A ,2024-03-05

[8]

一种氧化铟锌靶材及其制备方法 [P].

顾德盛 ;

邵学亮 ;

王奇峰 .

中国专利 :CN116162908B ,2024-08-30

[9]

一种氧化铟铈靶材及其制备方法和应用 [P].

王靓栎 ;

葛春桥 ;

陈露 ;

高洋 .

中国专利 :CN118598639A ,2024-09-06

[10]

一种氧化铟锡铈靶材及其制备方法和应用 [P].

梅方胜 ;

戚芳芳 ;

曹新鲜 ;

林建国 .

中国专利 :CN116375463B ,2024-08-27

← 1 2 3 4 5 →