一种镓酸锌靶材的制备方法和镓酸锌靶材

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202311565247.3

申请日：

2023-11-22

公开(公告)号：

CN117645472A

公开(公告)日：

2024-03-05

发明(设计)人：

韩冬阳张文瑞胡束东刘凯森叶继春

申请人：

中国科学院宁波材料技术与工程研究所

申请人地址：

315201 浙江省宁波市镇海区中官西路1219号

IPC主分类号：

C04B35/453

IPC分类号：

C04B35/01 C04B35/622 C23C14/34 C23C14/08

代理机构：

北京乐知新创知识产权代理事务所(普通合伙) 11734

代理人：

秦然

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

北京市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-03-22	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C04B 35/453申请日:20231122
2024-03-05	公开	公开

共 50 条

[1]

一种氧化铟镓锌靶材的制备方法 [P].

左宁伟 ;

杨杰 .

中国专利 :CN115504768A ,2022-12-23

[2]

一种氧化铟镓锌靶材的制备方法 [P].

张来稳 ;

邵学亮 ;

李开杰 ;

朱刘 .

中国专利 :CN112341159A ,2021-02-09

[3]

一种镓镁掺杂的氧化锌靶材及其制备方法 [P].

余芳 ;

童培云 ;

朱刘 .

中国专利 :CN119191833A ,2024-12-27

[4]

相组成可控的氧化铟镓锌靶材及其制备方法 [P].

陈杰 ;

齐超 ;

孙本双 ;

舒永春 ;

曾学云 ;

何季麟 .

中国专利 :CN109665834A ,2019-04-23

[5]

掺镓氧化锌靶材及其制备方法 [P].

刘成龙 ;

顾德盛 ;

李开杰 ;

王奇峰 ;

张兴宇 .

中国专利 :CN118908719A ,2024-11-08

[6]

一种氧化铟镓锌靶材及其制备方法和应用 [P].

袁润 ;

高洋 ;

李强 ;

葛春桥 .

中国专利 :CN120794607A ,2025-10-17

[7]

一种氧化铟镓锌管状靶材的短流程制备方法 [P].

孙本双 ;

何季麟 ;

舒永春 ;

曾学云 ;

陈杰 ;

李庆奎 .

中国专利 :CN108706965A ,2018-10-26

[8]

一种锌镓氧化物陶瓷靶材及其制备方法和应用 [P].

庄大明 ;

张弓 ;

方玲 ;

侯亚奇 ;

杨波 ;

赵方红 .

中国专利 :CN1413947A ,2003-04-30

[9]

一种镓酸锌薄膜的制备方法以及镓酸锌薄膜 [P].

韩冬阳 ;

张文瑞 ;

叶继春 .

中国专利 :CN118087032B ,2024-08-23

[10]

一种镓酸锌薄膜的制备方法以及镓酸锌薄膜 [P].

韩冬阳 ;

张文瑞 ;

叶继春 .

中国专利 :CN118087032A ,2024-05-28

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