一种氧化铟镓锌管状靶材的短流程制备方法

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专利类型
发明
申请号
CN201810645418.6
申请日
2018-06-21
公开(公告)号
CN108706965A
公开(公告)日
2018-10-26
发明(设计)人
孙本双 何季麟 舒永春 曾学云 陈杰 李庆奎
申请人
申请人地址
450001 河南省郑州市高新技术开发区科学大道100号
IPC主分类号
C04B3501
IPC分类号
C04B3564
代理机构
北京卫智畅科专利代理事务所(普通合伙) 11557
代理人
唐维铁
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
一种氧化铟镓锌烧结体的短流程制备方法 [P]. 
孙本双 ;
何季麟 ;
舒永春 ;
曾学云 ;
陈杰 ;
李庆奎 .
中国专利 :CN108623287A ,2018-10-09
[2]
一种氧化铟镓锌靶材的制备方法 [P]. 
左宁伟 ;
杨杰 .
中国专利 :CN115504768A ,2022-12-23
[3]
一种氧化铟镓锌靶材的制备方法 [P]. 
张来稳 ;
邵学亮 ;
李开杰 ;
朱刘 .
中国专利 :CN112341159A ,2021-02-09
[4]
相组成可控的氧化铟镓锌靶材及其制备方法 [P]. 
陈杰 ;
齐超 ;
孙本双 ;
舒永春 ;
曾学云 ;
何季麟 .
中国专利 :CN109665834A ,2019-04-23
[5]
一种氧化铟镓锌靶材及其制备方法和应用 [P]. 
袁润 ;
高洋 ;
李强 ;
葛春桥 .
中国专利 :CN120794607A ,2025-10-17
[6]
一种镓酸锌靶材的制备方法和镓酸锌靶材 [P]. 
韩冬阳 ;
张文瑞 ;
胡束东 ;
刘凯森 ;
叶继春 .
中国专利 :CN117645472A ,2024-03-05
[7]
一种氧化铟锡靶材的短流程烧结工艺 [P]. 
孙本双 ;
何季麟 ;
舒永春 ;
陈杰 ;
曾学云 ;
李庆奎 .
中国专利 :CN108516820B ,2018-09-11
[8]
一种氧化铟锌靶材及其制备方法 [P]. 
顾德盛 ;
邵学亮 ;
王奇峰 .
中国专利 :CN116162908B ,2024-08-30
[9]
低结瘤氧化铟锡靶材的制备方法 [P]. 
孙本双 ;
何季麟 ;
舒永春 ;
曾学云 ;
陈杰 ;
李庆奎 ;
杨淑敏 ;
刘洋 ;
梁鹏 ;
赵旭 ;
齐超 ;
张雨 ;
仇晨 .
中国专利 :CN109369172A ,2019-02-22
[10]
一种镓镁掺杂的氧化锌靶材及其制备方法 [P]. 
余芳 ;
童培云 ;
朱刘 .
中国专利 :CN119191833A ,2024-12-27