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一种氧化铟镓锌管状靶材的短流程制备方法
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN201810645418.6
申请日
:
2018-06-21
公开(公告)号
:
CN108706965A
公开(公告)日
:
2018-10-26
发明(设计)人
:
孙本双
何季麟
舒永春
曾学云
陈杰
李庆奎
申请人
:
申请人地址
:
450001 河南省郑州市高新技术开发区科学大道100号
IPC主分类号
:
C04B3501
IPC分类号
:
C04B3564
代理机构
:
北京卫智畅科专利代理事务所(普通合伙) 11557
代理人
:
唐维铁
法律状态
:
授权
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2019-08-09
授权
授权
2018-11-20
实质审查的生效
实质审查的生效 IPC(主分类):C04B 35/01 申请日:20180621
2018-10-26
公开
公开
共 50 条
[1]
一种氧化铟镓锌烧结体的短流程制备方法
[P].
孙本双
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孙本双
;
何季麟
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何季麟
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舒永春
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舒永春
;
曾学云
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曾学云
;
陈杰
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陈杰
;
李庆奎
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李庆奎
.
中国专利
:CN108623287A
,2018-10-09
[2]
一种氧化铟镓锌靶材的制备方法
[P].
左宁伟
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左宁伟
;
杨杰
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杨杰
.
中国专利
:CN115504768A
,2022-12-23
[3]
一种氧化铟镓锌靶材的制备方法
[P].
张来稳
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张来稳
;
邵学亮
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邵学亮
;
李开杰
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李开杰
;
朱刘
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朱刘
.
中国专利
:CN112341159A
,2021-02-09
[4]
相组成可控的氧化铟镓锌靶材及其制备方法
[P].
陈杰
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陈杰
;
齐超
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齐超
;
孙本双
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孙本双
;
舒永春
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舒永春
;
曾学云
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曾学云
;
何季麟
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何季麟
.
中国专利
:CN109665834A
,2019-04-23
[5]
一种氧化铟镓锌靶材及其制备方法和应用
[P].
袁润
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机构:
中山智隆新材料科技有限公司
中山智隆新材料科技有限公司
袁润
;
高洋
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中山智隆新材料科技有限公司
中山智隆新材料科技有限公司
高洋
;
李强
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中山智隆新材料科技有限公司
中山智隆新材料科技有限公司
李强
;
葛春桥
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中山智隆新材料科技有限公司
中山智隆新材料科技有限公司
葛春桥
.
中国专利
:CN120794607A
,2025-10-17
[6]
一种镓酸锌靶材的制备方法和镓酸锌靶材
[P].
韩冬阳
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机构:
中国科学院宁波材料技术与工程研究所
中国科学院宁波材料技术与工程研究所
韩冬阳
;
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机构:
张文瑞
;
胡束东
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机构:
中国科学院宁波材料技术与工程研究所
中国科学院宁波材料技术与工程研究所
胡束东
;
刘凯森
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机构:
中国科学院宁波材料技术与工程研究所
中国科学院宁波材料技术与工程研究所
刘凯森
;
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机构:
叶继春
.
中国专利
:CN117645472A
,2024-03-05
[7]
一种氧化铟锡靶材的短流程烧结工艺
[P].
孙本双
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孙本双
;
何季麟
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何季麟
;
舒永春
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舒永春
;
陈杰
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陈杰
;
曾学云
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曾学云
;
李庆奎
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李庆奎
.
中国专利
:CN108516820B
,2018-09-11
[8]
一种氧化铟锌靶材及其制备方法
[P].
顾德盛
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机构:
先导薄膜材料(广东)有限公司
先导薄膜材料(广东)有限公司
顾德盛
;
邵学亮
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机构:
先导薄膜材料(广东)有限公司
先导薄膜材料(广东)有限公司
邵学亮
;
王奇峰
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机构:
先导薄膜材料(广东)有限公司
先导薄膜材料(广东)有限公司
王奇峰
.
中国专利
:CN116162908B
,2024-08-30
[9]
低结瘤氧化铟锡靶材的制备方法
[P].
孙本双
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孙本双
;
何季麟
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何季麟
;
舒永春
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舒永春
;
曾学云
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曾学云
;
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陈杰
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李庆奎
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李庆奎
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杨淑敏
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杨淑敏
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刘洋
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刘洋
;
梁鹏
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梁鹏
;
赵旭
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赵旭
;
齐超
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齐超
;
张雨
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张雨
;
仇晨
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仇晨
.
中国专利
:CN109369172A
,2019-02-22
[10]
一种镓镁掺杂的氧化锌靶材及其制备方法
[P].
余芳
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机构:
先导薄膜材料(广东)有限公司
先导薄膜材料(广东)有限公司
余芳
;
童培云
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机构:
先导薄膜材料(广东)有限公司
先导薄膜材料(广东)有限公司
童培云
;
朱刘
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机构:
先导薄膜材料(广东)有限公司
先导薄膜材料(广东)有限公司
朱刘
.
中国专利
:CN119191833A
,2024-12-27
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