一种钡掺杂氧化铟锡锌靶材及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411284891.8

申请日：

2024-09-13

公开(公告)号：

CN118930226A

公开(公告)日：

2024-11-12

发明(设计)人：

熊浩李开杰王奇峰张高祥

申请人：

先导薄膜材料（广东）有限公司

申请人地址：

511517 广东省清远市高新区百嘉工业园27-9区

IPC主分类号：

C04B35/01

IPC分类号：

C04B35/622 C04B35/638 C23C14/08

代理机构：

长沙辰齐知壹知识产权代理事务所(普通合伙) 43290

代理人：

李琼芳

法律状态：

公开

国省代码：

江苏省常州市

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-11-12	公开	公开
2024-11-29	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C04B 35/01申请日:20240913

共 50 条

[1]

一种稀土元素掺杂氧化铟锡镓靶材及其制备方法 [P].

顾德盛 ;

邵学亮 ;

王奇峰 ;

张兴宇 ;

罗斯诗 .

中国专利 :CN116813310B ,2024-06-07

[2]

一种氧化锡锌靶材及其制备方法 [P].

顾德盛 ;

邵学亮 ;

李开杰 ;

罗斯诗 ;

张兴宇 .

中国专利 :CN118359422A ,2024-07-19

[3]

一种氧化铟锌靶材及其制备方法 [P].

顾德盛 ;

邵学亮 ;

王奇峰 .

中国专利 :CN116162908B ,2024-08-30

[4]

一种氧化锡锌掺杂锆高密度靶材的制备方法 [P].

曾墩风 ;

王志强 ;

曾探 ;

陈光园 .

中国专利 :CN118271082A ,2024-07-02

[5]

一种掺钡钛氧化铟靶材及其制备方法 [P].

刘成龙 ;

吴鸿毅 ;

陆洲 ;

李开杰 ;

王奇峰 .

中国专利 :CN119430865A ,2025-02-14

[6]

一种微量掺杂锗锌的无铟靶材及其制备方法 [P].

曾墩风 ;

王志强 ;

曾探 ;

陈光园 .

中国专利 :CN118184336A ,2024-06-14

[7]

氧化铟锡靶材浆料的制备方法 [P].

柴卫平 .

中国专利 :CN102013279B ,2012-02-22

[8]

一种氧化铟锌蒸镀靶材及其制备方法 [P].

顾德盛 ;

邵学亮 ;

李开杰 ;

罗斯诗 ;

张兴宇 .

中国专利 :CN117049870B ,2025-07-25

[9]

一种氧化铟锌掺杂稀土金属靶材及其制备方法 [P].

罗斯诗 ;

邵学亮 ;

李开杰 .

中国专利 :CN116199496B ,2024-07-19

[10]

氧化铟锡靶材的制备方法 [P].

章波 ;

郭元 .

中国专利 :CN108585832A ,2018-09-28

← 1 2 3 4 5 →